| 高低溫分析探針臺 |
| 規(guī)格 |
SC-6 |
SC-8 |
SC-12 |
| 外形 |
860mm長*850mm寬*700mm高 |
880mm長*860mm寬*750mm高 |
1400mm長*920mm寬*920mm高 |
| 重量 |
150公斤 |
約170公斤 |
約250公斤 |
| 電力需求 |
220VC,50~60Hz |
| 樣品臺 |
尺寸 |
6英寸，可360度旋轉 |
8英寸，可360度旋轉 |
12英寸，可360度旋轉 |
| 行程 |
X-Y行程6*6英寸 |
X-Y行程8*8英寸 |
X-Y行程12英寸*12英寸 |
| 移動精度 |
1um |
| 切換樣品功能 |
樣品臺快速拉出 |
| 樣品固定方式 |
真空吸附 |
| 電學運用 |
電學獨立懸空，可作為背電極使用 |
| 針座平臺 |
規(guī)格 |
O型平臺，最多可放置8個針座 |
O型平臺，最多可放置10個針座 |
O型平臺，最多可放置12個針座 |
| 行程&調節(jié)方式 |
平臺可以快速升降，行程 6mm并帶自動鎖定功能;可以上下微調，行程25mm，升降精度1um |
| 溫控特性 |
溫度范圍 |
﹣100~200℃ |
﹣80~200℃ |
﹣60~200℃ |
| 溫控精度 |
溫度分辨率 ： 0.01°C |
| 加熱電源 |
LVDC 低壓直流 |
| 最低控溫速率 |
±0.1°C /小時 |
| 制冷方式 |
液氮制冷 |
| 光學特性 |
顯微鏡行程 |
X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm |
| 切換鏡頭方式 |
顯微鏡氣動升降 注1 |
| 放大倍數 |
16~100X/20~4000X |
| 鏡頭規(guī)格 |
目鏡：10X；物鏡：5X,10X,20X,50X,100X（選配） |
| CCD像素 |
50W（模擬）/200W（數字）/500W（數字） |
| 點針規(guī)格 |
X-Y-Z行程 |
12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm |
| 機械精度 |
10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 |
| 漏電精度 |
10pA/100fA（配置屏蔽箱時） |
| 接口形式 |
香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA/K接口 |
| 應用方向 |
高低溫環(huán)境下，LD/LED/PD測試，PCB/封裝器件測試，射頻測試等。 |
| 可選附件 |
探針卡夾具 |
防震臺 |
低電流/電容測試 |
| 顯微鏡暗場/DIC/Normarski 檢測光強/波長測試接口部件 |
鍍金卡盤 |
光纖夾具耦合測試選件 |
| 同軸叁軸卡盤 |
封裝器件夾具 |
| 射頻測試附件 |
光強/光譜/波長測試選件 |
PCB/封裝夾具測試選件 |
| 高壓/大電流測試套裝 |
有源探頭 |
特殊定制 |
| 屏蔽箱 |
轉接頭
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