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MPI 手動(dòng)直流/射頻探針臺(tái)

MPI TS150、TS200、TS300每一款都包含許多令人興奮的功能, 使日常操作更簡(jiǎn)單、直觀、方便, 同時(shí)確保了高精度測(cè)量。

Unique Platen Lift with Probe Hover Control 具有探頭懸停控制的獨(dú)特控制技術(shù)

測(cè)量精度首先取決于接觸質(zhì)量。高度可精準(zhǔn)重復(fù)的 (1 um精度) 針座臺(tái)設(shè)計(jì)與三個(gè)獨(dú)立的檔位劃分：接觸（0μm）、分離 (300 um) 和載片 (3 um) 與安全鎖設(shè)計(jì)是目前市面上絕無(wú)僅有的功能。這些功能防止意外損壞探針或晶圓, 同時(shí)提供直觀的控制和準(zhǔn)確的接觸定位,這種能力在高頻和大功率應(yīng)用中尤其重要, 以達(dá)到最準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果。

對(duì)于 TS200 和 TS300,還可以額外提供帶有懸停高度 (50,100 或 150 um)的裝置, 可輕松方便地使探針與待測(cè)樣品電極對(duì)齊。

Height Adjustment Scale 高度精調(diào)設(shè)計(jì)

針座臺(tái)有25mm 的精細(xì)高度調(diào)整, 可以應(yīng)對(duì)各種應(yīng)用. 1mm 精確刻度給出了探針離開(kāi)樣品的直接位置反饋。

Compact and Rigid Platen Design 緊湊、靈活的針座臺(tái)

緊湊、靈活的針座臺(tái)可容納多達(dá)10組直流或4組射頻針座，可滿足各種應(yīng)用要求。

Various Chuck Potions 豐富的樣品臺(tái)規(guī)格選擇

手動(dòng)系統(tǒng)可用各種卡盤(pán)選項(xiàng)來(lái)滿足不同的預(yù)算和應(yīng)用要求. 卡盤(pán)選項(xiàng)包括 MPI 的同軸或三軸樣品臺(tái)或各種ERS高低溫卡盤(pán), 以支持高達(dá)300度的溫度測(cè)量。
并包含無(wú)縫集成的加熱臺(tái)控制器, 方便快捷的閱覽和操作。

Auxiliary Chucks 輔助卡盤(pán)

射頻卡盤(pán)還包括兩個(gè)內(nèi)置的陶瓷材料做成的輔助卡盤(pán), 用于精確的射頻校準(zhǔn)。

Various Optic and movement Choices 多樣的顯微鏡選擇

提供多種光學(xué)顯微鏡的選擇，包括所有常見(jiàn)的體式顯微鏡、單筒金相顯微鏡、金相顯微鏡或負(fù)載牽引配置。

Optic Tilting 顯微鏡傾斜功能

顯微鏡可以進(jìn)行90度的傾斜, 并且是氣動(dòng)驅(qū)動(dòng), 加上Z 軸方向上的精調(diào)功能，可以提供非常方便的扎針和更容易的探針更換。

Vibration Isolation Platform 內(nèi)置隔振平臺(tái)

所有的手動(dòng)系統(tǒng)包括吸振基座, 以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定可靠的探針與樣品的長(zhǎng)時(shí)間接觸, 確?？煽康臏y(cè)量結(jié)果. 隔振平臺(tái)或工作臺(tái)可選配不同的型號(hào)，以滿足實(shí)驗(yàn)室環(huán)境需要。

Dark Box 屏蔽箱

可用的屏蔽選項(xiàng)為超低噪聲直流測(cè)量提供了 EMI 光電磁屏蔽環(huán)境。

MPI 手動(dòng)直流/射頻探針臺(tái)

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