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    包郵 關(guān)注:683

    蘇州芯矽硅片BOE半導(dǎo)體腐蝕清洗機

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體清洗設(shè)備

    產(chǎn)品品牌

    蘇州芯矽

    庫       存：

    1000

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：蘇州芯矽

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體清洗設(shè)備

     ² 給水管路為英制接口，一路DI水；

    ² 排廢液系統(tǒng)分為兩路，一路排廢液；一路廢水；

    ² 給排水排廢接頭均為活性連接；排液口裝有濾網(wǎng)（防止管道被漏掉的碎硅料堵塞）；

    電源

    380VAC±10％，10KW,3相5線

    N2

    3/8”    ≤0.6MPa    PFA   快速接頭  ≥100L/min

    CDA

    3/8” ≤0.6MPa   PFA   快速接頭   ≥180L/min

    DIW

    φ32mm    ≤0.4MPa       CL-PVC  ≥120L/min

    回收水

    DN50 x2 PP  熔接

    排廢水

    DN50 x2   PP  熔接

    排廢液

    3/4” PFAx2

    臺面下排廢液

    3/4” PFAx2

    排氣

    φ300mm x2 

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    4006988696

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