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    GaN-MOCVD設備 青島杰生

    產(chǎn)品品牌

    青島杰生

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
    交易保障 擔保交易 網(wǎng)銀支付
    • 商品詳情
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    • 裝箱清單
    • 售后保障
    • 產(chǎn)品名稱：2英寸6片W620型設備
    • 產(chǎn)品介紹：
      主要技術(shù)參數(shù)：

      1、生長晶片尺寸： 2英寸6片；
      2、生長溫度控制范圍：300-1300℃；
      3、最大生長速度：大于3um/小時；
      4、反應室壓力控制范圍20-900托，連續(xù)可調(diào)，控制精度1托（200-900托）；0.2托（20-200托）；
      5、系統(tǒng)氣密性：管路系統(tǒng)漏氣率<1X10-9PaL/S；
      6、外延膜的均勻性和重復性優(yōu)于±5%；
      7、配備：（可根據(jù)用戶要求配置）
          4路氣體：（H2,N2,NH3,SiH4）
          6路MO源：（TEG,TEA,TMA,Cp2Mg,TMG,TMin）
      7、主機外形尺寸：4800×800×2200mm（L×W×H）（不包括RF電源）

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