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    SMART NanoTool物理氣相沉積 (PVD) 高德

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-熱蒸發(fā)

    產(chǎn)品品牌

    高德

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
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    品牌：高德

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-熱蒸發(fā)

    SMART NanoTool物理氣相沉積 (PVD)

     

    工作原理：

    被沉積的靶材，從高溫中獲得足夠的能量從而蒸發(fā)。已蒸發(fā)的物質(zhì)會(huì)沉積在襯底表面而凝聚，形成薄膜。

     

     

    特點(diǎn)：

    • 最小的實(shí)驗(yàn)室占用面積
    • 能夠與其他沉積和計(jì)量工具連接
    • 自動(dòng)化系統(tǒng)／軟件 - Robo

     

     

    應(yīng)用范圍：

    • 多種薄膜沉積技術(shù)
    • 歐姆接觸沉積和退火
    • 離子束加工（蝕刻和沉積）
    • 半導(dǎo)體面具制備

     

     

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