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4001027270
適宜12英寸以內(nèi)樣品測試,高端型手動探針臺, 可加載激光器、金相顯微鏡。
PS:探針臺屬于非標產(chǎn)品,均可根據(jù)客戶需求進行定制
12''高端探針臺 12'' probe station |
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• 總重約 150千克 • 尺寸: 926mmW*700mmD*700mmH • 12" 卡盤,采用中心吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品,均獨立控制,中心吸附孔最小可以選擇250微米 • 卡盤平整度: 5µm, 標準卡盤可360度無間隙旋轉(zhuǎn) • 卡盤X/Y軸無間隙移動,大手柄旋轉(zhuǎn)控制,行程:12英寸X 12英寸,移動精度:1um,并帶鎖死裝置 • 可調(diào)節(jié)顯微鏡在 X-Y 平面2" x 2" 范圍內(nèi)移動,精度1微米(系統(tǒng)不包含顯微鏡) • 可調(diào)節(jié)顯微鏡快速傾仰,便于更換物鏡,帶自動鎖定功能 • 平臺快速升降行程 6mm并帶自動鎖定功能 • 平臺上下微調(diào)行程25mm,升降精度1um • 平臺可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡,便于針卡重定位
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