服務(wù)熱線
4006988696
設(shè)備名稱:酸堿清洗設(shè)備
總體規(guī)格: 1200mm(L)×1100mm(W)×2000mm(H) (可變)
適用于:2-6寸硅片清洗
控制模式:半自動(dòng)控制(手動(dòng)操作,工藝參數(shù)控制過(guò)程為自動(dòng))
工件:2-6寸硅片
產(chǎn)能:25片/槽,可按客戶產(chǎn)能需求設(shè)計(jì)
節(jié)拍:0~99min可調(diào)
設(shè)備特點(diǎn):
1.設(shè)備骨架為SUS304外包3mmPP-w,外殼采用德國(guó)進(jìn)口PP-W板焊接。
2.酸槽采用5mm厚GE石英熱熔焊接而成,槽體采用貼膜式加熱。
3.QDR/DIW槽:德國(guó)進(jìn)口10mmPP-N板熱熔焊接而成。
4. 采用臺(tái)達(dá)觸摸屏人機(jī)界面操作和“三菱”PLC控制;
5.設(shè)備采用耐腐蝕導(dǎo)線并通過(guò)耐腐蝕PE 管進(jìn)行保護(hù),防腐防水。
6設(shè)備底部安裝3mm 厚PP 防漏托盤(pán),有效防止設(shè)備漏液損害廠務(wù)地板。
7.用戶操作人員上料后,全過(guò)程自動(dòng)化控制,減少人工干預(yù)。設(shè)備具有自動(dòng)化程度高、運(yùn)行成本低、生產(chǎn)效率高、性能穩(wěn)定、安全可靠等特點(diǎn)。
8.設(shè)備安全性能高,設(shè)備在防漏液、加熱、漏電等方面都做了嚴(yán)格的設(shè)計(jì),確保人身和廠務(wù)安全。
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