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腐蝕工作臺 適用于4英寸以下半導體硅片氧化前的清洗工藝
產(chǎn)品品牌
天海利華
庫 存：
100
產(chǎn) 地：
中國-北京市
腐蝕工作臺 適用于4英寸以下半導體硅片氧化前的清洗工藝
腐蝕工作臺
1．本設備是3槽腐蝕工作臺，適用于4英寸以下半導體硅片氧化前的清洗工藝。本設備采用RCA部分清洗工藝，采用國際標準生產(chǎn)加工，在超凈廠房組裝測試，有可靠的質量保障
2. 整機由機臺、操作臺面、清洗槽體、藥液槽體、藥液溫度控制系統(tǒng)，排風、電氣控制系統(tǒng)等組成。整機由PP板和PVC板焊接而成，美觀、耐腐蝕。
3.腐蝕水域槽為不銹鋼材料；腐蝕槽為石英材料(槽口部有法蘭)，帶蓋；
4.加熱方式：不銹鋼內加熱器，控溫范圍：室溫－70℃，精度±1℃；
5.清洗槽為NPP材料，配有鵝頸水龍頭。設有純水管路、自來水管路及手動調節(jié)閥，下水自然放。
6.配置國際知名品牌噴淋槍一把、氮氣槍一把；
7.排風通道:工作臺后部、上部同時排風；
8.配有有機玻璃翻門，塑料推拉門，儲物柜
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