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    腐蝕工作臺 適用于4英寸以下半導(dǎo)體硅片氧化前的清洗工藝

    產(chǎn)品品牌

    天海利華

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國-北京市

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    腐蝕工作臺 適用于4英寸以下半導(dǎo)體硅片氧化前的清洗工藝
    腐蝕工作臺
    1．本設(shè)備是3槽腐蝕工作臺，適用于4英寸以下半導(dǎo)體硅片氧化前的清洗工藝。本設(shè)備采用RCA部分清洗工藝，采用國際標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)加工，在超凈廠房組裝測試，有可靠的質(zhì)量保障
    2. 整機由機臺、操作臺面、清洗槽體、藥液槽體、藥液溫度控制系統(tǒng)，排風(fēng)、電氣控制系統(tǒng)等組成。整機由PP板和PVC板焊接而成，美觀、耐腐蝕。
    3.腐蝕水域槽為不銹鋼材料；腐蝕槽為石英材料(槽口部有法蘭)，帶蓋；
    4.加熱方式：不銹鋼內(nèi)加熱器，控溫范圍：室溫－70℃，精度±1℃；
    5.清洗槽為NPP材料，配有鵝頸水龍頭。設(shè)有純水管路、自來水管路及手動調(diào)節(jié)閥，下水自然放。
    6.配置國際知名品牌噴淋槍一把、氮氣槍一把；
    7.排風(fēng)通道:工作臺后部、上部同時排風(fēng)；
    8.配有有機玻璃翻門，塑料推拉門，儲物柜

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