(型號(hào):SWM-100)

技術(shù)參數(shù)

1.   主要規(guī)格

1.1 框架尺寸:      6或8英寸 （DISCO標(biāo)準(zhǔn)）   客戶(hù)指定           

1.2 膜種類(lèi):        藍(lán)膜或者UV膜

                  寬度:  230毫米（6英寸框架）300毫米（8英寸框架） 

                  長(zhǎng)度:    100米

                  厚度:    0.05~0.2毫米

1.3 晶圓規(guī)格：     4，5，6，8英寸   客戶(hù)指定

1.4 晶圓厚度:      150-750um

1.4 貼膜原理:      防靜電滾輪貼膜（自動(dòng)貼膜）

1.5 工作臺(tái)盤(pán):      特氟隆涂層接觸式臺(tái)盤(pán)（工作臺(tái)有加熱,溫度為:常溫-100°C）

1.6 裝卸方式:      產(chǎn)品手動(dòng)放置與取出

1.7 切割系統(tǒng):      直線(xiàn)刀切割僅在框架以外5毫米處，圓切割刀順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)切割。

                  獨(dú)特的直切刀技術(shù)保證在同類(lèi)機(jī)臺(tái)膠膜應(yīng)用最節(jié)省

1.8產(chǎn)品定位:       CHUCK  TABLE上對(duì)應(yīng)WAFER形狀的刻線(xiàn),真空吸固定WAFER

1.9電力供應(yīng):       單相交流電220V,5A

1.10壓縮空氣:      5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘2立方英尺

1.11體積:          560毫米(寬)*860毫米(深)*510毫米(高)

1.12凈重:          75公斤

2. 機(jī)器性能:

2.1 晶圓收益:      >=99.9%

2.2 貼膜質(zhì)量:      沒(méi)有氣泡(不包括碎粒氣泡)

2.3   每小時(shí)產(chǎn)能:    >=80 片

3. 安裝,培訓(xùn)及驗(yàn)收:

3.1 賣(mài)方負(fù)責(zé)將機(jī)器安裝,調(diào)機(jī),試運(yùn)行及性能測(cè)試

3.2 賣(mài)方給于買(mǎi)方內(nèi)部操作員工,工程師, 維護(hù)人員完善的技術(shù)培訓(xùn)直到他們可以穩(wěn)定獨(dú)立地操  

   作機(jī)器

4. 保修條款:

4.1 賣(mài)方保證設(shè)備完全滿(mǎn)足買(mǎi)方正常生產(chǎn)要求及購(gòu)買(mǎi)規(guī)格
4.2 保修期為買(mǎi)方正式驗(yàn)收起12個(gè)月內(nèi)

5. 其他說(shuō)明 :

5.1 設(shè)備自動(dòng)拉膜，自動(dòng)貼膜，達(dá)到省力，易操作的效果

5.2 自動(dòng)貼膜，貼膜質(zhì)量好，貼膜壓力可以調(diào)節(jié)

5.3 自動(dòng)拉膜能夠良好的控制每片的拉膜長(zhǎng)度，讓膜在前后兩邊超出鐵環(huán)長(zhǎng)度控制在1cm左右，達(dá)到省膜的效果

5.4 雙層膜的隔離層采用力拒馬達(dá)回收

5.5 設(shè)備電器，氣動(dòng)等標(biāo)準(zhǔn)件采用進(jìn)口品牌