服務(wù)熱線(xiàn)
4001027270
NSR1505g4D主要用于CD線(xiàn)寬不超過(guò)0.75μm器件的生產(chǎn)。
主要技術(shù)指標(biāo)
分辨率 |
0.75μm |
Resolution |
0.75 |
N.A. |
0.45 |
N.A. |
0.45 |
曝光光源 |
436nm |
Exposure light source |
436nm |
倍率 |
1:5 |
Magnification |
1:5 |
最大曝光市場(chǎng) |
15mmX15mm |
Maximum Exposure area |
15mmX15mm |
對(duì)準(zhǔn)精度 |
180nm |
Alignment accuracy |
180nm |
提供3”、4”、5”、6”、設(shè)備改造。
購(gòu)買(mǎi)之前,如有問(wèn)題,請(qǐng)向我們咨詢(xún)