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4001027270
產(chǎn)品名稱：TYG-2000/T1步進(jìn)投影光刻機(jī) |
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主要技術(shù)指標(biāo)： |
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| 曝光場(chǎng)面積：10mm×10mm | ||
| 分辨力：1μm； | ||
| 照明不均勻性：±2% | ||
| 物鏡倍率：5倍(縮小) | ||
| 光源：350W球形汞燈（曝光譜線： i線） | ||
| 基片尺寸：3 英寸 、4 英寸 | ||
| 工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)范圍：X：>150mm、 Y：>150mm； | ||
| 工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)定位精度：±0.65μm | ||
| 調(diào)焦臺(tái)運(yùn)動(dòng)靈敏度：1μm | ||
| 對(duì)準(zhǔn)精度：±0.5μm | ||
| 調(diào)焦臺(tái)運(yùn)動(dòng)行程：5mm | ||
| 檢焦：CCD檢測(cè)，檢測(cè)精度0.5微米 | ||
| 轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)行程：±4°以上 | ||
| 基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(并可適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片)，厚度：0.1mm--5mm | ||
主要技術(shù)配置： |
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| （1）照明系統(tǒng)：冷光橢球鏡; 350W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗); XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái); 光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡負(fù)透鏡、蠅眼透鏡組（79個(gè)透鏡）、i線濾光片、場(chǎng)鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2; 冷卻風(fēng)扇 （2）工件臺(tái)系統(tǒng)：X臺(tái)：電機(jī)驅(qū)動(dòng)器（日本樂孜）、絲杠（日本NSK）、導(dǎo)軌2（日本THK）、光柵（美國(guó)） Y臺(tái)：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（日本樂孜）、絲杠（日本NSK）、導(dǎo)軌2（日本THK）、光柵2（美國(guó)） 轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（日本樂孜），轉(zhuǎn)動(dòng)軸系 調(diào)平臺(tái)：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（3套）、調(diào)平機(jī)構(gòu) Z臺(tái)：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（日本樂孜）、絲杠、上升導(dǎo)向機(jī)構(gòu); 承片臺(tái)：3英寸（可增加4英寸、2英寸、1英寸等） （3）檢焦系統(tǒng)：焦面光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)、CCD、焦面檢測(cè)軟件 （4）對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)：對(duì)準(zhǔn)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)（2套）、CCD（2套）、對(duì)準(zhǔn)軟件 （5）電控系統(tǒng)：汞燈電源及觸發(fā)器、主機(jī)控制系統(tǒng)、軟件、計(jì)算機(jī)、顯示器、接口 （6）其他部件：底座 減震器（4個(gè));控制柜桌;氣動(dòng)系統(tǒng);電磁閥、旋轉(zhuǎn)氣缸、減壓閥、壓力表、真空表 （7）其他附件：真空泵一臺(tái)(無(wú)油泵);空壓機(jī)一臺(tái)（靜音泵）;管道 |
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