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    TYG-2000/T1步進投影光刻機 成都晶普科技有限公司

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備-光刻設備-步進光刻機

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國-四川省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：

    型號：

    所屬系列：半導體加工設備-光刻設備-步進光刻機

    產(chǎn)品名稱：TYG-2000/T1步進投影光刻機

    		  

    主要技術指標：
      曝光場面積：10mm×10mm
      分辨力：1μm；
      照明不均勻性：±2%
      物鏡倍率：5倍(縮小)
      光源：350W球形汞燈（曝光譜線： i線）
      基片尺寸：3 英寸 、4 英寸
      工件臺運動范圍：X：>150mm、 Y：>150mm；
      工件臺運動定位精度：±0.65μm
      調(diào)焦臺運動靈敏度：1μm
      對準精度：±0.5μm
      調(diào)焦臺運動行程：5mm
      檢焦：CCD檢測，檢測精度0.5微米
      轉動臺行程：±4°以上
      基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(并可適應非標準片或碎片)，厚度：0.1mm--5mm

    主要技術配置：
    （1）照明系統(tǒng)：冷光橢球鏡;  350W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗);  XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺;  光學系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡負透鏡、蠅眼透鏡組（79個透鏡）、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2;  冷卻風扇
    （2）工件臺系統(tǒng)：X臺：電機驅動器（日本樂孜）、絲杠（日本NSK）、導軌2（日本THK）、光柵（美國）  Y臺：電機及驅動器（日本樂孜）、絲杠（日本NSK）、導軌2（日本THK）、光柵2（美國）  轉動臺：電機及驅動器（日本樂孜），轉動軸系 調(diào)平臺：電機及驅動器（3套）、調(diào)平機構  Z臺：電機及驅動器（日本樂孜）、絲杠、上升導向機構; 承片臺：3英寸（可增加4英寸、2英寸、1英寸等）
    （3）檢焦系統(tǒng)：焦面光學檢測系統(tǒng)、CCD、焦面檢測軟件
    （4）對準系統(tǒng)：對準光學檢測系統(tǒng)（2套）、CCD（2套）、對準軟件
    （5）電控系統(tǒng)：汞燈電源及觸發(fā)器、主機控制系統(tǒng)、軟件、計算機、顯示器、接口
    （6）其他部件：底座 減震器（4個);控制柜桌;氣動系統(tǒng);電磁閥、旋轉氣缸、減壓閥、壓力表、真空表
    （7）其他附件：真空泵一臺(無油泵);空壓機一臺（靜音泵）;管道

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