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    ASML PAS 5000/55

    產(chǎn)品品牌

    ASML PAS 5000/55

    庫(kù)       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    全國(guó)

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：ASML PAS 5000/55

    型號(hào)：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-步進(jìn)光刻機(jī)

     一、基本參數(shù)：

        工    藝：I線光刻機(jī)

        工藝能力：0.5微米

        襯底尺寸：4英寸、5英寸、6英寸、8英寸

    傳片方式：皮帶單片傳送，片架到片架傳送

    二、設(shè)備配置：

        硅片傳輸系統(tǒng)

        掩膜版自動(dòng)傳輸系統(tǒng)

        633nm激光對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

    照明系統(tǒng)500W汞燈光源，365nm波長(zhǎng)

    二維精密XY工作臺(tái)

        預(yù)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

        環(huán)境控制器

    三、工藝指標(biāo)

    PAS5000光刻機(jī)是ASML公司生產(chǎn)的I線步進(jìn)式光刻，其投影背率5：1，曝光波長(zhǎng)為365nm，分辨率為0.5um，最大曝光場(chǎng)大小為15mm*19mm。設(shè)備匹配對(duì)準(zhǔn)精度0.1um。

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