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    包郵 關(guān)注:397

    半導(dǎo)體專用溫控裝置系列產(chǎn)品

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體輔助設(shè)備-恒溫、加熱輔助設(shè)備

    庫       存:

    1000

    產(chǎn)       地:

    中國(guó)-北京市

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

     

    半導(dǎo)體專用溫控裝置系列產(chǎn)品

    CHILLER PRODUCTS


    半導(dǎo)體專用溫控裝置(Chiller)主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制,主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個(gè)自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備; 研發(fā)人員在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測(cè)控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù),顯著地提高了chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度。


     

    產(chǎn)品特點(diǎn):http://1659642520.bj.wezhan.cn/Content/editors/ueditor/themes/default/images/spacer.gif 

    • 加載情況下控溫精度優(yōu)于±0.3℃,可在-20℃~90℃任意工況切換,具有良好的溫度跟隨性;

    • 采用先進(jìn)的節(jié)能技術(shù),利用變頻器實(shí)現(xiàn)壓縮機(jī)和水泵的節(jié)能減耗;http://1659642520.bj.wezhan.cn/Content/editors/ueditor/themes/default/images/spacer.gif

    • 設(shè)備具有故障、性能自診斷功能,并可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程診斷及維修;http://1659642520.bj.wezhan.cn/Content/editors/ueditor/themes/default/images/spacer.gif 

    • 先進(jìn)的密封技術(shù),減少循環(huán)液的泄漏及揮發(fā);http://1659642520.bj.wezhan.cn/Content/editors/ueditor/themes/default/images/spacer.gif 

    • 符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)和CE標(biāo)準(zhǔn),可根據(jù)客戶需求定制產(chǎn)品;

     

    應(yīng)用領(lǐng)域:


    半導(dǎo)體、LCD、LED

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    4001027270

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