金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積(metal-Organic Chemical Vapor Deposition,簡(jiǎn)稱MOCVD)技術(shù)生長(zhǎng)III-V族,II-VI族化合物及合金的薄層單晶的主要方法。 外延技術(shù)與設(shè)備是外延片制造技術(shù)的關(guān)鍵所在,MOCVD設(shè)備的核心部件加熱器尤為重要,我公司是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的MOCVD內(nèi)部核心部件加熱器的設(shè)計(jì)、制造企業(yè)。