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高溫?zé)o氧化烤箱，半導(dǎo)體制程烤箱簡介：

高溫?zé)o氧化烤箱，半導(dǎo)體制程烤箱用于PI、BCB膠高溫固化烘烤。整個箱體結(jié)構(gòu)分為：膛體組件、箱架組件和熱風(fēng)組件三個部分，膛體腔，內(nèi)表面全鏡面設(shè)計，風(fēng)道由左、右、后導(dǎo)風(fēng)板與箱體內(nèi)壁組合而成，膛體頂部有排風(fēng)管道。
高溫?zé)o氧化烤箱，半導(dǎo)體制程烤箱技術(shù)參數(shù)：
1. 最高溫度：450℃；可自定義
2. 工作室尺寸：450×650×450mm（W×H×D）；可自定義
3. 箱體數(shù)量:一個；可自定義兩箱、四箱
4. 腔體材料：SUS304鏡面不銹鋼；
5. 加熱元件：不銹鋼加熱器；
6. 熱電偶：國產(chǎn)，K分度；
7. 空箱升溫時間：每分鐘5度，全程平均；
8. 空箱降溫時間：300℃-90℃降溫時間為1.5小時左右(采用鼓風(fēng)冷翅片散熱器或氣體)；
9. 記錄儀:溫度和氧含量無紙記錄儀；
10. 氧含量-氧分析儀：
高溫狀態(tài)氧含量：≤ 20ppm +氣源氧含量
低溫狀態(tài)氧含量：≤ 50ppm +氣源氧含量
11. 溫度波動度：±1℃；
12. 溫度均勻度：±5%（300℃平臺）；
高溫?zé)o氧化烤箱，半導(dǎo)體制程烤箱基本配置：
1. 控制：每個箱體單獨控溫、通氣、報警保護；
2. 排風(fēng)口：一個；
3. 控溫儀表：日本理化FP23溫控儀；
4. 控溫段數(shù)：20×20段；
5. 控溫點數(shù)：一點；
6. 超溫報警點數(shù)：一點；
7. 檢測點數(shù)：三點；
8. 高溫開爐門保護：當(dāng)溫度超過100℃，電子鎖自動鎖緊，防止高溫開門
9. 報警保護：超溫、斷偶等聲光報警保護；
10. 超溫保護：獨立感溫式超溫保護器；
11. 電機保護：電機過電流、過熱保護；
12. 表面溫升：＜30℃；
13. 加熱功率：15kW；
14. 保溫功率： ≤9kW；
15. 電源：容量大于80KVA，3相5線，220/380VAC，50Hz；

高溫?zé)o氧化烤箱，半導(dǎo)體制程烤箱

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