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    全自動爐管清洗設備 硅密（常州）電子設備

    產品品牌

    硅密（常州）

    庫       存：

    100

    產       地：

    中國-江蘇省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    ￥10000.00
    交易保障 擔保交易 網銀支付
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    品牌：硅密（常州）

    型號：

    所屬系列：半導體清洗設備-強酸堿腐蝕清洗-半導體材料腐蝕清洗機

    全自動爐管清洗設備 硅密（常州）電子設備
    本設備為浸泡式清洗機，用于擴散、外延等設備的石英管，碳化硅管的清洗
            設備功能：用于石英爐管的清洗，操作員手工放入，在清洗槽內自動旋轉，酸腐蝕后DIW沖洗，然后手工取出。
            • 不銹鋼骨架，白色的PP外殼，底盤采用擠出式焊接工藝，杜絕滲漏風險；
            • 機臺側部安裝有可旋轉式的觸摸屏；
            • PLC控制工藝過程，用戶界面進行編程和監(jiān)控；
            • 工藝槽內石英爐管可做旋轉運動，有一定的傾斜角度以利于排空內部液體； 清洗槽左右兩端設有美國進口純水噴槍和氮氣噴槍。
            • 工藝槽內石英爐管可做旋轉運動，有一定的傾斜角度以利于排空內部液體；
            • 后部的排氣裝置，有可調節(jié)的氣閘；
            • EMO緊急按鈕；
            • 三色警燈；
            • 前部和后部維修門設計；
            • 后部自動供酸系統(tǒng)接口設計；
            • 清洗槽左右兩端設有進口純水噴槍和氮氣噴槍。


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