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    半導體晶圓熱處理設備 無塵無氧化烤箱

    應用于半導體行業(yè):

    半導體輔助設備-恒溫、加熱輔助設備

    庫       存:

    10000

    產(chǎn)       地:

    中國-江蘇省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:

    型號:

    所屬系列:半導體輔助設備-恒溫、加熱輔助設備

     

    半導體晶圓熱處理設備



    詳細介紹:

     

    介紹 無塵無氧化烤箱是研發(fā)部門為蘇州晶方半導體有限公司的12寸晶圓生產(chǎn)工藝而研發(fā)的采用鏡面不銹鋼作為內(nèi)膽經(jīng)過一次成型處理以保證含氧量達到20ppm以下,隔熱層為工業(yè)級保溫棉無滲透無污染,保證烘烤300℃時 箱體體表溫度在常溫以下,控制系統(tǒng)用PLC+人機界面配合微電腦控制溫控器帶PID自動演算功能以保證箱體溫度均勻性為±1℃

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