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    表面形貌測試設(shè)備

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體測試設(shè)備-表面形貌測試

    規(guī)格型號:

    8寸樣品

    發(fā)貨期限:

    一個月天

    庫       存:

    500

    產(chǎn)       地:

    德國

    數(shù)       量:

    減少 增加

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    品牌:

    型號:8寸樣品

    所屬系列:半導(dǎo)體測試設(shè)備-表面形貌測試

    機械探針式測量方法[1-3]是開發(fā)較早、研究最充分的一種表面輪廓測量方法。它利用機械探針接觸被測表面,當探針沿被測表面移動時,被測表面的微觀凹凸不平使探針上下移動,其移動量由與探針組合在一起的位移傳感器測量,所測數(shù)據(jù)經(jīng)適當?shù)奶幚砭偷玫搅吮粶y表面的輪廓。    探針式輪廓儀是高精度的表面輪廓測量儀器,深度測量精度可達到0.1~0.2nm;縱向分辨率取決于與之配套的位移傳感器,一般可達到0.1 nm的量級;橫向分辨率與針尖半徑有關(guān),同時還與被測表面的具體形狀有關(guān),一般可達到0.05μm~0.25μm。

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