機械探針式測量方法[1-3]是開發(fā)較早、研究最充分的一種表面輪廓測量方法。它利用機械探針接觸被測表面,當探針沿被測表面移動時,被測表面的微觀凹凸不平使探針上下移動,其移動量由與探針組合在一起的位移傳感器測量,所測數(shù)據(jù)經(jīng)適當?shù)奶幚砭偷玫搅吮粶y表面的輪廓。 探針式輪廓儀是高精度的表面輪廓測量儀器,深度測量精度可達到0.1~0.2nm;縱向分辨率取決于與之配套的位移傳感器,一般可達到0.1 nm的量級;橫向分辨率與針尖半徑有關(guān),同時還與被測表面的具體形狀有關(guān),一般可達到0.05μm~0.25μm。