超高速記錄動(dòng)態(tài)三維形貌
DHM® 采用非掃描機(jī)制，采集單幀圖像 既能記錄樣品表面三維形貌，因此擁有其他技術(shù)無(wú)法匹敵的圖像采集速度。使用標(biāo)準(zhǔn)相機(jī)采集速度為視頻速率30幀/秒，而高速相機(jī)可以達(dá)到1000幀/秒，使得以下應(yīng)用變?yōu)榭赡埽?br /> • 研究可形變樣品三維動(dòng)態(tài)響應(yīng)
• 表面大區(qū)域掃描分析
• 高產(chǎn)量常規(guī)檢測(cè)
• 生產(chǎn)線在線三維形貌捕捉

MEMS測(cè)振分析，最高可達(dá)25 MHz
頻閃模塊(可選配件)可同步DHM® 測(cè)量時(shí)激光脈沖與 MEMS器件的激勵(lì)信號(hào)，獲取振動(dòng)周期內(nèi)的全視場(chǎng)振動(dòng)模態(tài)。 這些特有的分析數(shù)據(jù)可提供以下信息：
• 三維形貌時(shí)序圖
• 頻率共振分析和響應(yīng)分析
• 面內(nèi)面外振幅分析(面內(nèi)振幅測(cè)量精度1nm，面外振幅測(cè)量精度5pm)
• 復(fù)雜運(yùn)動(dòng)表征，振動(dòng)模態(tài)表征，樣品動(dòng)態(tài)三維形貌

多種可控環(huán)境下測(cè)量
獨(dú)特的光學(xué)原理和光路設(shè)計(jì)使得DHM® 能夠滿足使用者在各種環(huán)境下的測(cè)量需求，提供靈活和便利的測(cè)量體驗(yàn)：
• 透過(guò)玻璃(蓋玻片、載玻片、玻璃窗口)或者浸潤(rùn)液
• 觀測(cè)環(huán)境控制箱或真空腔內(nèi)部樣品，可改變環(huán)境參
數(shù)，比如溫度、濕度、氣壓、氣體成分等

測(cè)量透明樣品三維形貌
得益于DHM® 多激光源配置，通過(guò)專用反射分析軟件(可選配件)可以表征透明薄膜樣品，包括：
• 透明結(jié)構(gòu)表面形貌
• 多層透明薄膜組成結(jié)構(gòu)的厚度、折射率，測(cè)量范圍
可從10納米至幾十微米
• 柔性材料或是液體的形貌

性能

測(cè)量模式

單激光波長(zhǎng) 666 nm

雙激光合成波長(zhǎng) 4.2 μm

雙激光合成波長(zhǎng) 24 μm

可用該測(cè)量模式的DHM型號(hào)

R1000, R2100, R2200

R2100, R2200

R2200

測(cè)量精度1 [nm]

0.15

0.15 / 3.0 *

20

縱向分辨率2 [nm]

0.30

0.30 / 6.0 *

40

測(cè)量可重復(fù)性3 [nm]

0.01

0.01 / 0.1 *

0.5

動(dòng)態(tài)可測(cè)縱向范圍

最大 200 μm

最大 200 μm

最大 200 μm

最大可測(cè)臺(tái)階高度

最大 333 nm4

最大 2.1 μm4

最大 12 μm4

適用樣品表面類型

平滑表面

復(fù)雜或非連續(xù)結(jié)構(gòu)表面

復(fù)雜或非連續(xù)結(jié)構(gòu)表面

垂直校準(zhǔn)

由干涉濾光片決定，范圍 ±0.1 nm

圖像采集時(shí)間

標(biāo)準(zhǔn) 500 μs (最快可選10 μs)

圖像采集速率

標(biāo)準(zhǔn) 30 幀/秒 (1024 x 1024 像素) (最快可選 1000 幀/秒)

實(shí)時(shí)重建速率

標(biāo)準(zhǔn) 25 幀/秒 (1024 x 1024 像素) (最快可選 100 幀/秒)

橫向分辨率

由所選物鏡決定，最大 300 nm**

視場(chǎng)

由所選物鏡決定，范圍從 66 μm x 66 μm 至 5 mm x 5 mm **

工作距

由所選物鏡決定，范圍從 0.3 至 18 mm**

數(shù)碼聚焦范圍

最高50倍于景深 (由所選物鏡決定)

最小可測(cè)樣品反射率

低于 1%

樣品照明

最低 1 μW/cm2

頻閃模塊

適用于單光源和雙光源模式