應(yīng)用：
主要用于 8 英寸半導(dǎo)體晶圓、集成電路、QFN、發(fā)光二
極管、LED 芯片、太陽能電池、電子基片、壓電陶瓷等
的劃切加工；適用于包括硅、石英、氧化鋁、氧化鐵、
砷化鎵、鈮酸鋰、藍(lán)寶石和玻璃等材料。



特征：
? 8英寸有效加工范圍，可定制專用工作吸盤。
? 17”觸摸式教學(xué)式GUI，操作簡單便捷。
? *自動對準(zhǔn)、刀痕檢測功能，提高生產(chǎn)效率。
? Y向光柵尺閉環(huán)控制。
? 直光、環(huán)形光，工件觀察清晰。
? 加工狀態(tài)實時監(jiān)控。
? 工廠自動化模塊。
  Automatic Dicing Saw                                                     AR6000  
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■ 使用條件  •請使用大氣壓露點在-15℃以下殘余油分為0.1ppm，過濾度在0.01μm/99.5%以上的清潔壓縮空氣。 •請將放置機械設(shè)備的房間室溫設(shè)定在20℃?25℃之間，并將波動范圍控制在±1℃以內(nèi)。 •請將切削水的水溫控制為室溫+2℃（變化波動范圍在±1℃以內(nèi)），將冷卻水的水溫控制為與室溫相同（變化波動范圍在±1℃以 內(nèi)）。 •其他，請避免設(shè)備受到撞擊及外界的有感振動。另外，請不要將設(shè)備安裝在鼓風(fēng)機、通風(fēng)口、產(chǎn)生高溫的裝置及產(chǎn)生油霧的裝置附近。 •本設(shè)備會使用水。萬一發(fā)生漏水影響，請把本設(shè)備安裝在有防水性之地板及有排水處理之場所。 •（*）為非標(biāo)準(zhǔn)配置。
AR6000技術(shù)規(guī)格 最大工作物尺寸 mm ø8"
X軸 可切削范圍 mm 210
 進(jìn)刀速度輸入范圍 mm/s 0.1-500
Y軸 可切削范圍 mm 210
 單步步進(jìn)量 mm 0.001
 定位精度 mm
0.005以內(nèi)/210 （單一誤差）0.003以內(nèi)/5
Z軸 有效行程 mm 32.2(使用ø2"切割刀片時)

移動量分辨率 mm 0.0005
 重復(fù)精度 mm 0.001
 可使用的最大切割刀片直徑 mm Ø58
θ軸 最大旋轉(zhuǎn)角度 deg 320
主軸 額定輸出功率 kW 1.5at30,000min-1

額定扭矩 N?m 0.48

旋轉(zhuǎn)數(shù)范圍 min-1 3,000～40,000

可使用的最大框架 - 8"
其他規(guī)格 電源 V
三相AC380V±10％ 上述以外需配置變壓器
 耗電量
加工時 kW 0.5（參考值）

暖機時 kW 0.3（參考值）

最大耗電量 kVA 3.5

壓縮空氣供給壓力 Mpa 0.5-0.8

壓縮空氣最大消耗量 L/min（ANR） 200

切削水壓力 Mpa 0.2-0.4

最大消耗量 L/min 4.0

冷卻水壓力 Mpa 0.2-0.4

最大消耗量 L/min 1.5（在0.3MPa時）

排風(fēng)量 m3/min 1.5
 設(shè)備尺寸（W×D×H） mm 600×970×1,600
 設(shè)備重量 kg 約750