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    顯微鏡飛秒激光加工系統(tǒng)

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體測試設備-顯微鏡分類-金相顯微鏡

    產(chǎn)品品牌

    海德星

    庫       存：

    1000

    產(chǎn)       地：

    中國-北京市

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：海德星

    型號：

    所屬系列：半導體測試設備-顯微鏡分類-金相顯微鏡

     
    產(chǎn)品概述

           激光器發(fā)出激光通過孔徑光闌、衰減器及電動快門后，進入顯微鏡的激光入口，通過反光鏡反射后，進入物鏡到達待加工樣品的表面。在加工的同時，反射光或補充照明光進入目鏡通過成像光路在CCD（即數(shù)碼攝像機）芯片上成像，進行實時在線觀測。

    產(chǎn)品特點

    1.采用開放式支架可與第三方高精度精密平臺配合使用，此為其他類型的金相顯微鏡無法實現(xiàn)；
    2.配備大范圍升降裝置，可用于大工件監(jiān)測加工。

    產(chǎn)品配置

    一、海德星XYZ平臺

    1、XYZ高精度三維平臺
         行程：100mm*100mm*50mm，XY軸負載：20kg，Z軸負載：1kg。

    1）行程：100mm*100mm*50mm；
    2）最大速度：50mm/s；
    3）最小速度：1μm/s；
    4）最小步進：10nm；
    5）最大承重：10kg；
    6）重復定位精度：10nm；
    7）加工材料：金屬材料（如：硅，銅，鋁等）；
    8）加工形狀：圓形、方形等；
    9）平移臺有可編程接口，便于編程控制三軸的移動路徑。

    二、蔡司顯微鏡SCOPE A1 + CCD：
     
    1、物鏡：
        反射光高反差明暗場物鏡：
        EC Epiplan 5X/0.3HD M27(WD=11.8mm);
        EC Epiplan 10X/0.25HD M27(WD=11.0mm);
        EC Epiplan 20X/0.4HD M27(WD=3.2mm);
        EC Epiplan 40X/0.6HD M27(WD=2.2mm);
        EC Epiplan 100X/0.85HD M27(WD=0.87mm);
    2、目鏡：
        PL 10X/23Br.foc.
    3、CCD相機：
        AxioCam 105 彩色CCD
    4、附件：
        鹵素燈:12V100W
        白平衡片：d=25x1.5mm
        CCD接口：60N-C 2/3’’ 0.5X
        目鏡測微尺：10：100 d=26mm
     
    三、激光照明器
     

    應用領域

    1.適用于切割各種材料的激光加工；
    2.適用于加工過程的實時在線監(jiān)測；
    3.可作為普通的金相顯微鏡使用。

     

     

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