1)行程:100mm*100mm*50mm;
2)最大速度:50mm/s;
3)最小速度:1μm/s;
4)最小步進(jìn):10nm;
5)最大承重:10kg;
6)重復(fù)定位精度:10nm;
7)加工材料:金屬材料(如:硅,銅,鋁等);
8)加工形狀:圓形、方形等;
9)平移臺有可編程接口,便于編程控制三軸的移動路徑。
二、蔡司顯微鏡SCOPE A1 + CCD:
1、物鏡:
反射光高反差明暗場物鏡:
EC Epiplan 5X/0.3HD M27(WD=11.8mm);
EC Epiplan 10X/0.25HD M27(WD=11.0mm);
EC Epiplan 20X/0.4HD M27(WD=3.2mm);
EC Epiplan 40X/0.6HD M27(WD=2.2mm);
EC Epiplan 100X/0.85HD M27(WD=0.87mm);
2、目鏡:
PL 10X/23Br.foc.
3、CCD相機(jī):
AxioCam 105 彩色CCD
4、附件:
鹵素?zé)?12V100W
白平衡片:d=25x1.5mm
CCD接口:60N-C 2/3’’ 0.5X
目鏡測微尺:10:100 d=26mm
三、激光照明器
應(yīng)用領(lǐng)域
1.適用于切割各種材料的激光加工;
2.適用于加工過程的實(shí)時在線監(jiān)測;
3.可作為普通的金相顯微鏡使用。