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12寸晶圓半導(dǎo)體檢查顯微鏡OMT-12R12寸晶圓半導(dǎo)體檢查顯微鏡OMT-12R12寸晶圓半導(dǎo)體檢查顯微鏡OMT-12R12寸晶圓半導(dǎo)體檢查顯微鏡OMT-12R

MT-12R大平臺半導(dǎo)體顯微鏡

靈活的系統(tǒng)組合、卓越的成像性能、穩(wěn)定的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，專業(yè)應(yīng)用于工業(yè)檢測及金相分析領(lǐng)域

各操作機(jī)構(gòu)根據(jù)人機(jī)工程學(xué)設(shè)計，最大限度減輕使用疲勞。模塊化的部件設(shè)計，可對系統(tǒng)功能進(jìn)行自由組合。

全新設(shè)計的長工作距專業(yè)金相物鏡，高倍物鏡采用半復(fù)消技術(shù)。

各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對比度的顯微圖像。

附件齊全，配置完善，可靈活進(jìn)行系統(tǒng)組合與功能拓展。

人機(jī)工程學(xué)設(shè)計、堅實可靠的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)。

先進(jìn)的光學(xué)設(shè)計，支持多種觀察技術(shù)，充分滿足各類超大平臺設(shè)計，半導(dǎo)體/FPD檢測需

全自動化方案，讓工業(yè)檢測更輕松、更便捷、更高效

12寸超大平臺設(shè)計，為半導(dǎo)體/FPD行業(yè)提供最舒適的操作體驗

光學(xué)系統(tǒng)	無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)
觀察筒	鉸鏈?zhǔn)秸袢ㄓ^察筒，0~35°仰角可調(diào)；瞳距調(diào)節(jié)：50mm~76mm；分光比雙目，三目=0:100或100:0
目鏡	高眼點大視野平場目鏡PL10X/25mm，視度可調(diào) 高眼點大視野平場目鏡PL10X/26.5mm，視度可調(diào)
物鏡	明暗場半復(fù)消金相物鏡【5X、10X、20X、50X、100X】
轉(zhuǎn)換器	明暗場內(nèi)傾式6孔轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽
載物臺	14X12英寸離合式機(jī)，移動行程：356mmX305mm機(jī)械平臺，X、Y方向同軸調(diào)節(jié)；帶反射用金屬載物臺
鏡體	反射機(jī)架，低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm，微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)，帶電動轉(zhuǎn)換器和電動孔徑光闌切換按鈕。
照明系統(tǒng)	明暗場反射照明器，帶電動孔徑光闌，中心可調(diào)；帶明暗場照明切換裝置；帶濾色片插槽與偏光附件插槽。 12V/100W鹵素?zé)羰?，預(yù)定中心；PHILIPS 7724鹵素?zé)?/span>
攝像攝像附件	0.5X/0.65X/1XCTV，C接口，可調(diào)焦
偏光附件	起偏鏡插板，檢偏鏡插板
可選偏光附件	藍(lán)色、綠色、紅色、LBD干涉濾色片

12寸晶圓半導(dǎo)體檢查顯微鏡OMT-12R