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    包郵 關(guān)注:649

    管式電阻爐/管式馬弗爐/管式氣氛爐

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-管式爐

    庫       存:

    10

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

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     - TL1200 管式爐 - 

    這款管式爐以瑞典康泰爾電阻絲為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30 段程序控 溫系統(tǒng),移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁 多晶纖維材料,爐膛分為上下兩個半圓,需要急 速冷卻或換管子時,可以打開爐膛,雙層爐殼間 配有風冷系統(tǒng),能快速升降溫,該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫速率快、節(jié)能等優(yōu)點,是高校、科研院所、工礦 企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD 實驗、真空退火用的理想產(chǎn)品。

    組件配置:

    一、控溫儀表:采用宇電程序控溫儀表

    1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。

    2、具有過溫保護、斷偶保護,過溫或斷偶時電爐加熱電路會自動切斷,(當電爐溫度超過1200度或熱電偶

       燒斷時,主電路上的交流繼電器會自動斷開,主電路斷開,面板上ON燈熄滅,OFF燈亮,有限的保護電

           爐)。

       3、帶有485 通訊接口(選購軟件時標配)

       4、具有斷電保護功能,即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。

       5、儀表具有溫度自整定的功能。

    二、開蓋保護系統(tǒng):該爐安裝有行程開關(guān),當爐子打開時會自動切斷電源,有效地保證使用者的安全。  

    三、爐膛材料:采用日本進口爐膛材料,不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡,抗熱漲冷縮能力強。

    四、加熱元件:  采用世界上一流加熱元件 瑞典Canthal A1電阻絲, 溫場均衡、使用壽命長。      

    五、漏電保護功能: 該爐裝了漏電空氣開關(guān),當爐體漏電或電流超過額定電流時空開會自動關(guān)閉以切斷電源。

    六、軟件控制系統(tǒng)(選配):該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù),并能從電腦

                             上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時

        刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來,隨時可以調(diào)出。

    七、控制系統(tǒng):1、電器:正泰,    2、可控硅:德國西門空106/16E,    3 觸發(fā)器:移相觸發(fā)。

    八、密封系統(tǒng): 該爐頂蓋和爐門(其他地方已經(jīng)焊接好)均采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸

        氣密性好、可保證12小時壓力表指針不偏轉(zhuǎn)。

    九、真空系統(tǒng)(選購):  可配TW-1.5A真空泵和能夠抽到10-1Pa真空泵或能夠抽到10-4Pa德國進口分子泵。 

    十、供氣系統(tǒng)(選購):客戶可通過供氣系統(tǒng)上的浮子流量計或質(zhì)子流量計控制氣體的流速。

    十一、法蘭:采用雙環(huán)密封技術(shù),有效的提高了法蘭的氣氛箱,法蘭上裝有多種接頭,可接電阻真空計、KF25

          波紋管并能做成容易拆卸的鉸鏈式。

     

    各種規(guī)格尺寸:


    型號

    爐管尺寸

    功率

    (kw)

    電 壓

    (V)

    加熱段長

    (mm)

    最高溫度

    (℃ )

    額定溫度

    (℃ )

    熱電

    偶型號

    升溫速率

    (可根據(jù)要求設(shè)計)

    TL1200-Ⅰ

    Φ60×1000

    2.5

    220

    400

    1200℃

    1150℃

    K

    ≤20℃/min

    TL1200-Ⅱ

    Φ80×1000

    3.5

    220

    400

    1200℃

    1150℃

    K

    ≤20℃/min

    TL1200-Ⅲ

    Φ100×1000

    3.5

    220

    400

    1200℃

    1150℃

    K

    ≤20℃/min

    TL1200-Ⅳ

    Φ120×1000

    4

    220

    400

    1200℃

    1150℃

    K

    ≤20℃/min

    TL1200-V

    Φ150×1000

    5

    220

    400

    1200℃

    1150℃

    K

    ≤20℃/min

    TL1200-VI

    Φ200×1000

    6

    220

    400

    1200℃

    1150℃

    K

    ≤20℃/min

    TL1200-VII

    Φ250×1100

    7

    220

    400

    1200℃

    1150℃

    K

    ≤20℃/min

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