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    擴散爐

    應用于半導體行業(yè):

    半導體加工設備-爐類設備-管式爐

    產(chǎn)品品牌

    青島育豪

    庫       存:

    1

    產(chǎn)       地:

    中國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:青島育豪

    型號:

    所屬系列:半導體加工設備-爐類設備-管式爐

     按照用戶需求設計生產(chǎn)
    系統(tǒng)組成:擴散爐主機、推拉舟及凈化工作臺、氣源柜、排毒柜、微機控制柜
    擴散爐管數(shù):
    1~4
    主要技術指標:
    ★爐管內徑:
    ¢90~¢3502英寸~8英寸)   
    ★恒溫區(qū)長度及精度:≤
    1000mm±0.5℃300℃~1290℃
    ★控溫儀表:進口高精度控溫儀   
    ★氣源路數(shù):主管道
    1~4路   
    ★氣體種類:
    N2、H2、O2、HCL
    ★氣源控制:
    MFC或浮子流量計   
    ★推拉舟行程:最大
    2000mm
    ★推拉舟速度范圍及精度:(
    20~1000±2mm/min    
    ★推拉舟方式:簡易式、懸臂式、
    SiC硅槳式
    ★冷卻方式:水冷
    +風冷    
    ★工控機:工控機控制
    設備特性:
    具有多條工藝曲線,調用方便快捷;運行中,具有停電記憶功能;
    觸摸微機界面,操作方便;具有超溫保護功能

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