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    擴散爐

    應(yīng)用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-管式爐

    產(chǎn)品品牌

    青島育豪

    庫       存：

    1

    產(chǎn)       地：

    中國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：青島育豪

    型號：

    所屬系列：半導體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-管式爐

     按照用戶需求設(shè)計生產(chǎn)
    系統(tǒng)組成：擴散爐主機、推拉舟及凈化工作臺、氣源柜、排毒柜、微機控制柜
    擴散爐管數(shù)：    1~4管
    主要技術(shù)指標：
    ★爐管內(nèi)徑：    ¢90~¢350（2英寸~8英寸）   
    ★恒溫區(qū)長度及精度：≤    1000mm±0.5℃（300℃~1290℃）
    ★控溫儀表：進口高精度控溫儀   
    ★氣源路數(shù)：主管道    1~4路   
    ★氣體種類：    N2、H2、O2、HCL等
    ★氣源控制：    MFC或浮子流量計   
    ★推拉舟行程：最大    2000mm
    ★推拉舟速度范圍及精度：（    20~1000）±2mm/min    
    ★推拉舟方式：簡易式、懸臂式、    SiC硅槳式
    ★冷卻方式：水冷    +風冷    
    ★工控機：工控機控制
    設(shè)備特性：
    具有多條工藝曲線，調(diào)用方便快捷；運行中，具有停電記憶功能；
    觸摸微機界面，操作方便；具有超溫保護功能

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