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Reltron ICS1000PEM EMMI微光顯微鏡
Reltron ICS1000PEM 光子發(fā)射顯微鏡系統(tǒng)是模塊化的結構,它實現(xiàn)了人性化的操作和非凡的測試精度。在定位IC失效位置,正面和背側觀察方面ICS1000PEM幾乎重新定義了光子發(fā)射顯微檢測法,它無比的簡單,有效和精確,是適合我們大家使用的優(yōu)秀工具。
應用
柵氧化層漏電
p-n 結漏電
熱電子效應
CMOS閂鎖效應
EOS/ESD 損傷
飽和MOS器件
模擬MOSFETs
特點
前部照明的1.4兆像素增強型近紅外相機; 珀爾貼風冷到 -45攝氏度
可捕捉波長范圍更廣的近紅外光顯微鏡
ICS1000 PEM 軟件可運行在Windows XP Pro 或者Vista Business系統(tǒng)
軟件控制的5波段照明
雙通道吉時利源端和IV曲線測試軟件
可選擇
InGaAs相機; 珀爾貼風冷到 -50攝氏度.
背部照明,深耗盡層相機; 珀爾貼風冷到-100攝氏度.
4通道吉時利源端和IV曲線測試軟件
熱點偵測
顯微鏡自動對焦,不同倍率鏡頭切換和X-Y方向定位
黑箱
防震桌
探針臺
器件溫度控制器:快速升溫,降溫樣品臺
器件高壓輸入(可達5KV)和IV曲線測試軟件
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