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當(dāng)前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體測試設(shè)備 » 顯微鏡分類 » 微光顯微鏡 »HAMAMATSU微光顯微鏡PHEMOS-1000
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    HAMAMATSU微光顯微鏡PHEMOS-1000

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體測試設(shè)備-顯微鏡分類-微光顯微鏡

    庫       存:

    11

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

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     特點(diǎn):
    Phemos 微光顯微鏡是設(shè)計用于檢測故障檢測和地位半導(dǎo)體器件內(nèi)產(chǎn)生的熱信號。 熱發(fā)射圖像可以疊加在紅外光譜共焦激光生成的高分辨率圖像上,因此很容易確定故障位置精度高。
    1、可選配適用于高分辨率、高靈敏度觀測的納米透鏡和紅外共焦激光顯微鏡
    2、可安裝300mm雙面半自動探針
    3、紅外-光致阻值改變(IR-OBIRCH)分析功能(選配)
    4、低電壓樣品用高靈敏度近紅外相機(jī)(選配)
    5、數(shù)字lock-in組件加強(qiáng)紅外-光致阻值改變的檢測能力(選配)
     
    主要應(yīng)用:
    1、氧化層中微等離子泄露
    2、金屬布線短路
    3、PC板和器件的溫度映射
    4、氧化層擊穿
    5、反常接觸孔
    6、在研發(fā)過程中觀察器件溫度異常
    7、定位TFT-LCD/有源電致發(fā)光器件泄露位置
     

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