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采用光學(xué)和非接觸方法探測焦距的方法,測量不會給樣品造成變形或劃痕等影響,這些往往是采用物理性接觸測量時產(chǎn)生的。基于目標(biāo)分光方法原理的精密聚焦指示器的應(yīng)用,以簡單地把兩個目標(biāo)標(biāo)志部分重合起來進(jìn)行高精度的測量..
◎ 高精度的圖像自動聚焦系統(tǒng)的測量結(jié)果和精確度是很可靠的,沒有人為的因素。
◎ 通過電腦控制,可以完成多點(diǎn)的自動連續(xù)測量,高級的資料處理軟體可以極大的提高測量時間。
功能:
非接觸測量微細(xì)的撞擊、臺階等。
◎ 通過高精度的光學(xué)聚焦點(diǎn)檢測和精確的聚 焦指示器完成高精確的測量
◎ 簡單的操作
◎ Z軸測量行程可從幾個μm 到10mm
◎ 同時還可以完成測量點(diǎn)的表面觀察
觀 測 頭: 三目
Z軸測量范圍: 0.1μm 讀數(shù),10mm 行程
Z軸測量精度: 3σ=1μm (40×)
光學(xué)鏡身: 精確的自動聚焦單元
物 鏡: 5× - 100×
測量軟體: 4種模式
資料處理軟體: 顯示最大值,最小值,平均值,標(biāo)準(zhǔn)偏差值等
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