1. 分辨率：  5nm (30kV, SE Image)

             8nm（30kV, BSE Image）

2. 放大倍率：30x~100,000x (有效放大倍率60,000x)

3. 加速電壓 : 1kV to 30kV (1Kv/ 5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step)

4. 對(duì)焦方式：自動(dòng)/手動(dòng)同時(shí)支持兩種模式

5. 圖像：

二次電子圖像-(SEI)-Secondary Electron Image

背散射電子圖像-（BSEI）- Backscattered Standard Mode

6. Observation mode : Standard Mode 

7. 電子槍系統(tǒng):

燈絲類(lèi)型：預(yù)對(duì)中鎢燈絲

偏壓系統(tǒng)：自動(dòng)偏壓方式

   電子槍校正：手動(dòng)方式

8. 透鏡構(gòu)成

i. 聚光鏡 : 2段式磁線(xiàn)圈透鏡

ii. 物鏡 : 1段式磁線(xiàn)圈透鏡

9. 探測(cè)器類(lèi)型：E-T Detector

10. 載物臺(tái)系統(tǒng)：5軸操控

- X, Y-axis : 40mm / R-axis : 360°（自動(dòng)控制）

- Z : 0~35mm / Tilt-axis : 0~45°

11. Image shift: X, Y Image Shift (100?)

12. 樣品最大尺寸 :80mm in diameter, 35mm in height

13. 圖像掃描速度

1. 快速掃描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

2. 低速掃描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)

3. 圖片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.)

4. 圖片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

14. 自動(dòng)功能

自動(dòng)啟動(dòng)，自動(dòng)聚焦，自動(dòng)亮度對(duì)比度調(diào)節(jié)

15. 圖像存儲(chǔ)方式

   BMP, JPEG, PNG

16. 數(shù)據(jù)顯示

   放大倍率，探測(cè)器類(lèi)型，電壓，真空模式，文本，標(biāo)尺等

17. 真空系統(tǒng)

   全自動(dòng)型/高者空模式+低真空模式(Multi mode)

-（旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵）Rotary Pump/100Liters/min

-（渦輪式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 80Liters/sec

抽真空時(shí)間：3分鐘以?xún)?nèi)

18. 操控系統(tǒng)：鼠標(biāo)和鍵盤(pán)

19. 運(yùn)行系統(tǒng)：電鏡專(zhuān)用臺(tái)式電腦

-OS : Microsoft Window 7

-CPU : Intel Core^TM i5 or High version

-Memory / HDD : 2GB / 500GB or High version

20. 軟件：

-圖像文件打開(kāi)，編輯，存儲(chǔ)功能

   -長(zhǎng)度，面積，角度等測(cè)量功能

   -設(shè)置數(shù)值初始化，圖像拍攝模式轉(zhuǎn)換，Archives, Setting(EDS)模式等

21. 體積：

   設(shè)備主機(jī)-390(W)×330(D)×560(H)mm……1set

   控制主機(jī)-390(W)×315(D)×560(H)mm……1set

   外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set

22. 重量：98kg

23. 設(shè)備環(huán)境：

-溫度：15℃~30℃

-濕度：70% or less

-電源：Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz