非接觸式輪廓測(cè)量?jī)x是利用光學(xué)顯微技術(shù)、白光干涉掃描技術(shù)、計(jì)算機(jī)軟件控制技術(shù)和PZT垂直掃描技術(shù)對(duì)工件進(jìn)行非接觸測(cè)量，還原出工件3D表面形貌宏微觀信息，并通過(guò)軟件提供的多種工具對(duì)表面形貌進(jìn)行各種功能參數(shù)數(shù)據(jù)處理，實(shí)現(xiàn)對(duì)各種工件表面形貌的微納米測(cè)量和分析的光學(xué)計(jì)量?jī)x器

測(cè)定概要

該P(yáng)F-60，由自動(dòng)聚焦激光束顯微鏡（AF顯微鏡）和高精度的XY掃描移動(dòng)軸。自動(dòng)對(duì)焦顯微鏡測(cè)量在Z軸方向高度和XY載物臺(tái)移動(dòng)的樣品，以獲得二維和三維的XYZ坐標(biāo)值，進(jìn)行形狀測(cè)定。

自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)

高度測(cè)量用的AF顯微鏡，是通過(guò)上圖紅色激光束光路，以一個(gè)半徑為0.5μm的激光探針通過(guò)透鏡，在工件表面成像。

反射的激光束從工件表面再通過(guò)透鏡，在AF傳感器上成像，激光對(duì)焦位置發(fā)生改變，AF傳感器上的激光位置也會(huì)發(fā)生變化。

AF傳感器上位置變化被實(shí)時(shí)檢測(cè)出來(lái)，根據(jù)激光位置的變化反應(yīng)到AF的機(jī)構(gòu)部，由AF顯微鏡成像決定焦點(diǎn)位置。

XY移動(dòng)軸掃描

高精度的XY移動(dòng)臺(tái)，在移動(dòng)中能夠讀取XY坐標(biāo)值，可移動(dòng)范圍內(nèi)

(60mmx60mm)可連續(xù)測(cè)量。無(wú)需受限視野，無(wú)需數(shù)據(jù)的拼接，可實(shí)現(xiàn)廣范圍高精度的連續(xù)測(cè)量。 

產(chǎn)品應(yīng)用范圍:

作為新的高科技產(chǎn)品，三維激光掃描儀廣泛應(yīng)用于機(jī)械加工、汽車、摩托車、精密五金、精密工具、刀具、模具、光學(xué)元件等行業(yè)。適用于科研院所、大專院校、計(jì)量機(jī)構(gòu)和企業(yè)計(jì)量室。

在汽車、摩托車、制冷行業(yè)可測(cè)汽車、摩托車、壓縮機(jī)的活塞、活塞銷、齒輪和氣門頂桿的母線參數(shù)等并可測(cè)量各種斜形零件的參數(shù)。

在軸承行業(yè)可測(cè)內(nèi)外套圈的密封槽形狀(角度、倒角R、槽深、槽寬等);

各種滾子軸承的滾子和套圈母線的凸度、角度、對(duì)數(shù)曲線;

電機(jī)軸、圓柱銷、活塞銷、滾針軸承、圓柱滾子軸承、直線軸承的動(dòng)體和套圈的直線度；球軸承溝道的溝曲率半徑及溝邊距;雙溝軸承的

溝心距；四點(diǎn)接觸軸承(桃形溝)的溝心距和溝曲率半徑等。 

產(chǎn)品特點(diǎn)：

快速高精度激光點(diǎn)對(duì)焦

測(cè)量時(shí)間短，測(cè)量方便

可對(duì)應(yīng)低反射率樣品

可對(duì)應(yīng)大斜率樣品表面

廣范圍/高精度測(cè)定

極其優(yōu)異的角度追蹤性