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    GWM-晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備

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    1

    產(chǎn)       地:

    全國(guó)

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    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備

     邊緣檢測(cè):對(duì)硅片外周(Bevel)進(jìn)行非接觸式高速檢測(cè)。 畫像處理根據(jù)預(yù)先設(shè)定的參數(shù)條件自動(dòng)提取各種缺陷,并判定是否合格。

    正面·背面檢測(cè):檢測(cè)硅片上的凹凸缺陷。

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