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晶圓鍵合機(jī) Wafer Bonding系列介紹: |
晶圓鍵合機(jī)應(yīng)用于晶圓臨時(shí)性鍵合/解鍵合(Wafer Bonding/Debonding)工藝
晶圓鍵合機(jī) Wafer Bonding系列特點(diǎn): |
4”-8”/8”-12” 晶圓適用,支持極薄化晶圓的鍵合。 |
可選真空熱壓/UV/激光等鍵合方式。 |
鍵合機(jī)智能測(cè)繪料籃內(nèi)晶圓,兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料。 |
鍵合機(jī)支撐晶圓、產(chǎn)品晶圓進(jìn)行自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)。 |
晶圓鍵合機(jī)可自動(dòng)完成晶圓鍵合(Wafer Bonding)工藝。 |
可選配晶圓鍵合后的在線檢測(cè)功能。 |
工控機(jī)+Windows系統(tǒng)。 |
SECS/GEM 或簡(jiǎn)易聯(lián)網(wǎng)能力。 |
品名 |
Wafer Bonding系列(晶圓鍵合機(jī)) |
鍵合晶圓尺寸 |
4”-8”/8”-12” |
支持體基板 |
玻璃 |
鍵合裝置:真空熱壓/UV/激光 |
定制 |
粘貼裝置 |
搭載 |
晶圓盒形式 |
兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料 |
其他 |
SECS/GEM 或簡(jiǎn)易聯(lián)網(wǎng)能力 |
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