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沃特塞恩固態(tài)射頻電源具有能耗低、體積小、壽命長、性能穩(wěn)等優(yōu)點。
> 頻率源采用 DDS 直接數(shù)字頻率合成技術(shù),頻率穩(wěn)定度高;
> 射頻電源有著很好的功率穩(wěn)定度;
> 適應(yīng)多種駐波比的負載;
> 擁有完善的保護電路,保證射頻電源可靠運行;
> 電源功放使用貼片型半導(dǎo)體三極管制作,壽命比傳統(tǒng)分立式三極管更長;
固態(tài)射頻電源應(yīng)用范圍:
半導(dǎo)體工業(yè)方面如等離子體刻膠、等離子蝕刻 、 RIE、平行板、ICP、射頻濺射、CVD和PVC等系統(tǒng)、等離子清洗、PECVD、板條射頻激光源等
固態(tài)射頻電源更多詳細參數(shù)請見:http://www.wattsine.com.cn/productview-16-40.html
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