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    包郵 關(guān)注:255

    廠家直銷13.56MHz固態(tài)射頻電源-體積小壽命長-沃特塞恩電子

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體器件-其他器件類

    庫       存:

    10

    產(chǎn)       地:

    中國-四川省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:

    型號:

    所屬系列:半導(dǎo)體器件-其他器件類

     13.56MHz/3kW全固態(tài)射頻電源采用全固態(tài)射頻功放技術(shù),工作頻率范圍為13.56MHz,功率范圍從2W至3KW,是為半導(dǎo)體生產(chǎn)制造新一代功率源。其主要由電源模塊、射頻發(fā)生器、射頻放大器、控制系統(tǒng)、接口模塊以及冷卻裝置等6大部分構(gòu)成。

     

    沃特塞恩固態(tài)射頻電源具有能耗低、體積小、壽命長、性能穩(wěn)等優(yōu)點。

     

    > 頻率源采用 DDS 直接數(shù)字頻率合成技術(shù),頻率穩(wěn)定度高;

    > 射頻電源有著很好的功率穩(wěn)定度;

    > 適應(yīng)多種駐波比的負載;

    > 擁有完善的保護電路,保證射頻電源可靠運行;

    > 電源功放使用貼片型半導(dǎo)體三極管制作,壽命比傳統(tǒng)分立式三極管更長;


    固態(tài)射頻電源應(yīng)用范圍:

    半導(dǎo)體工業(yè)方面如等離子體刻膠、等離子蝕刻 、 RIE、平行板、ICP、射頻濺射、CVD和PVC等系統(tǒng)、等離子清洗、PECVD、板條射頻激光源等

    固態(tài)射頻電源更多詳細參數(shù)請見:http://www.wattsine.com.cn/productview-16-40.html

     

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