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    定量陰極熒光 CL-SEM系統(tǒng) S?ntis 300

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備-其他設備類-其他

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：

    型號：

    所屬系列：半導體加工設備-其他設備類-其他

     Attolight定量CL-SEM系統(tǒng)提供 “不折不扣”大視場快速掃描的同時獲取SEM圖像、高光譜CL圖像和光學光譜。較小直徑的晶圓，或形狀混雜的襯底被手動加載到300mm的中間感受器上，然后儀器自動處理。


    Santis 300全晶圓工業(yè)CL-SEM系統(tǒng)是全晶圓陰極發(fā)光顯微鏡，可以完全自動化控制150、200和300毫米晶圓。

    優(yōu)點：

    1、控制可\達300毫米的晶圓

    2、高\效的CL-SEM掃描成像效率

    3、同時進行電鏡成像和光學信號采集

    4、邊緣檢測，晶圓準確定位(優(yōu)于10μm)

    5、對晶圓翹曲度自動映射和調(diào)整

    特點：

    Santis 300系統(tǒng)提供3種不同的采集模式，為不同的需求和應用量身定制:

    • 面掃描模式（FWBrush模式）

    • 線掃描模式（AWPix模式）

    • 多點掃描模式

     

    工業(yè)市場應用：

    1、GaN 及其應用:

     高強度LED要求高發(fā)射效率和高可靠性。以汽 車應用為例，LED故障影響安全，危及人身安 全；UVC LED 要求高的發(fā)射效率和高的發(fā)射均勻 性；LED故障會使人的生命處于危險之中，例如在滅菌和消毒應用中。

    2、光子學：激光光子學

    3、電力電子應用 GaN：電力電子應用需要更大的功率、更小和更輕 的包裝，例如物聯(lián)網(wǎng)或汽車應用

    4、II-VI族材料：GaAs 及其應用: 太陽能, 電力電子；電力電子SiC ；μLED

    其他應用舉例：

    微觀結(jié)構(gòu)發(fā)光二極管(MicroLed)

    LED質(zhì)量控制

    GaN中的螺紋位錯缺陷計數(shù)

    碳化硅襯底質(zhì)量控制

     

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