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產(chǎn)品描述：全新的TM/12R半導(dǎo)體/FPD 檢查顯微鏡，最大支持300mm晶圓及 17英寸液晶面板的檢查，含 4、6、8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機工程學(xué)設(shè)計全面提升，為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗。

應(yīng)用范圍：廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件金屬陶瓷部件、精密磨具等檢測。

產(chǎn)品特點：

1. 仰角可調(diào)觀察筒

0-35°觀察角度可調(diào)，適合不同身高的用戶，降低了對工作環(huán)境的要求，讓不同的使用者都能找到最佳的觀察角度，減輕了長時間工作帶來的不適與疲勞，大幅度提高工作效率。

2. 全新離合驅(qū)動式載物臺

TM/12R 采用離合式手柄，用戶按下離合扳手就可靈活移動平臺，無需長時間捏緊手柄；按下離合按鈕，取消快速移動。避免長時間操作出現(xiàn)手麻現(xiàn)象，并加快觀察速度。 TM/12R 引入精密導(dǎo)軌傳動機構(gòu)，移動更輕更順暢，產(chǎn)品更加穩(wěn)定可靠。

3. 安全、高速的電動式物鏡轉(zhuǎn)換器

設(shè)有前進、后退兩檔切換模式，可快速、精確定位到所需要的觀察倍率，重復(fù)定位精度高。機械式的切換模式，有效提升了轉(zhuǎn)換器的使用壽命。

4. 按鍵觸手可及，助您提高工作效率

TM/12R 物鏡與孔徑光闌采用全新的電動控制系統(tǒng)，其操作按鍵位于儀器正前方，讓您觸手可及。人性化的電動設(shè)計不僅避免了頻繁的手動操作步驟，也使您的檢測工作也更加精確、靈活。

5. 防震支架設(shè)計

機身由六端支架支撐，低重心、高穩(wěn)定性全金屬機架，具備強效的抗震功能，確保像質(zhì)穩(wěn)定。

光學(xué)系統(tǒng)	無限遠色差校正光學(xué)系統(tǒng)
觀察方式	明場/暗場/偏光/DIC
觀察筒	無限遠鉸鏈三通觀察筒,0-35°傾角可調(diào),正像,瞳距調(diào)節(jié) :50-76mm，分光比 100:0 或 0:100
目鏡	高眼點大視野平場目鏡 PL10X/25mm，視度可調(diào)，可帶單刻度十字分劃版
物鏡	無限遠明暗場半復(fù)消金相物鏡 5X 10X 20X 50X
轉(zhuǎn)換器	明暗場六孔電動轉(zhuǎn)換器，帶 DIC 插槽
機架組	透反機架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機構(gòu)。粗調(diào)行程 35mm，微調(diào)精度 0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng)
載物臺	右手位 14×12 英寸三層機械移動平臺，低手位 X、Y 方向同軸調(diào)節(jié) ；平臺面積 718mmX420mm，移動范圍：356mmX305mm
載物臺	帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動；玻璃載物臺板 ( 反射用）
電動平臺	面積 495mmX641mm，移動范圍：306mmX306mm ；軟件控制 X、Y 移動，重復(fù)定位精度，（3+L/50）μm 帶平板平臺
照明系統(tǒng)	明暗場反射照明器 , 帶可變電動孔徑光闌，視場光闌 , 中心均可調(diào) ；帶明暗場照明切換裝置；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽
攝影攝像附件	0.5X/0.65X/1X 攝像接筒，C 型接口，可調(diào)焦
其他	起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，反射用干涉濾色片組；高精度測微尺；DIC 組件
攝像（選配）	300萬，500萬，1200萬，1600萬，1800萬像素攝像

TM/12R半導(dǎo)體/FPD檢測顯微鏡

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