服務(wù)熱線
4001027270
特點(diǎn)
• 無任何機(jī)械作用力,實(shí)現(xiàn)最低次級表面損傷
• 超強(qiáng)防腐材料制成,由聚丙烯,涂PVDF和環(huán)氧的聚亞安酯制成,可用于多種侵蝕劑液,如溴-甲醇等。
• 加工樣品尺寸(3×3"),(3×4"),(2×3"和1×4"),(1×3"和2×4"),(3×3"和3×4")等多種尺寸組合可根據(jù)用戶工藝要求定制。
• 滴液速度、磨盤轉(zhuǎn)速可設(shè)置,擺速可從0到45每秒,操作方便,可遠(yuǎn)程控制。
• 時(shí)間從0到10個(gè)小時(shí)自由調(diào)節(jié),到達(dá)設(shè)定時(shí)間時(shí),儀器可以繼續(xù)運(yùn)行,也可以設(shè)置成自動(dòng)停止。
• 半導(dǎo)體晶片和光晶體的高精度腐蝕拋光,并提供晶體最小應(yīng)力的解決方案
原理
設(shè)備由主驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),防腐蝕填料系統(tǒng),廢料疏導(dǎo)系統(tǒng)和遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)組成,拋光盤更換方便,并且容易清洗。主驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)配有齒輪驅(qū)動(dòng)裝置,樣品在行星齒輪內(nèi)繞著中心齒輪同步轉(zhuǎn)動(dòng),保證了樣品表面平整度和平行度。
應(yīng)用
1、用于紅外探測和其它器件的碲鋅鎘,銻化銦,碲鎘汞等材料在封裝及外延生長前的末級化學(xué)腐蝕拋光。
2、用于薄脆的半導(dǎo)體材料,如砷化鎵,磷化銦和多種Ⅲ-Ⅴ族,Ⅱ-Ⅵ族化合物等。
3、用于所有需要電子/光學(xué)級拋光的高標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用,如硫化鎘及類似的光電材料。
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