網(wǎng)站首頁

中|EN

當前位置: 首頁 » 設備館 » 半導體加工設備 » 晶圓減薄拋光設備 » 拋光機 »自動減薄機對工件盤上的工件進行減薄,加工各種半導體材料的加工
    •
    包郵 關注:757

    自動減薄機對工件盤上的工件進行減薄,加工各種半導體材料的加工

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備-晶圓減薄拋光設備-拋光機

    產品品牌

    北京特思迪

    規(guī)格型號：

    自動減薄機

    庫       存：

    100

    產       地：

    中國-北京市

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    ￥10000.00
    交易保障 擔保交易 網(wǎng)銀支付
    • 商品詳情
    • 商品參數(shù)
    • 評價詳情(0)
    • 裝箱清單
    • 售后保障

    品牌：北京特思迪

    型號：自動減薄機

    所屬系列：半導體加工設備-晶圓減薄拋光設備-拋光機

    自動減薄機對工件盤上的工件進行減薄,加工各種半導體材料的加工

    型號：HRG-150，VRG-250/300/500

     設備概敘：該設備有臥式和立式兩種主軸結構，工作時砂輪與工件盤同時旋轉，并通過砂輪軸的Z方向運動（進給由伺服電機控制），實現(xiàn)對工件盤上的工件進行減薄加工，適合于各種半導體材料的加工。

     應用領域：

    半導體材料：Si、Ge、GaAs、SiC、Sapphire、InP、GaN、MEMS、紅外材料等；

    晶體材料： 陶瓷基板、壓電晶體、光學玻璃、電子陶瓷、PDD、濾波材料等。

     設備特點：

    l  采用金剛石砂輪，加工效率高；

    l  自動砂輪修整裝置，實現(xiàn)對砂輪平面修整；

    l  多段式加工程序，加工產品表面損傷低和翹曲度小；

    l  多種加工程序的存儲，實現(xiàn)多種規(guī)格和不同材料產品的加工；

    l  友好的人機界面對話，操作簡單、方便；

    l  可選配在線厚度測量裝置。

     

    設備規(guī)格

    型號

    HRG-150

    VRG-250

    VRG-300

    VRG-500

    最大產品尺寸

    6英寸

    250mm

    300mm

    500mm

    砂輪轉速(RPM)

    0   - 3000

    0   - 3000

    0   - 3000

    0   - 3000

    工作盤轉速(RPM)

    0-400

    0-260

    0-260

    0-260

    砂輪最大行程(mm)

    70

    100

    100

    100

    研磨速度(μm/sec)

    0.1   - 1000

    0.1   - 1000

    0.1   - 1000

    0.1   - 1000

    移動量分辨率(μm)

    0.1

    0.1

    0.1

    0.1

    精度(±μm)

    1

    1

    1

    2

    重復精度(±μm)

    1

    1

    1

    1

    在線厚度測量

    可選

    可選

    可選

    可選

    自動砂輪修整

    可選

    可選

    可選

    可選

    設備尺寸(mm)

    1400x780x1520

    1100x950x1970

    1200x1050x1970

    1300x1400x2100

    設備重量(Kg)

    1400

    1500

    2000

    3000


    咨詢

    購買之前，如有問題，請向我們咨詢

    提問:
     
    問

    請問鍵合的硅片最小厚度是多少，四寸片一般能減薄到多少？

    caoweihuo  2017-07-11

    答

     需要看您這邊加工的產品類型以加工要求，詳細請聯(lián)系陳經(jīng)理：15210097854 謝謝！

    2017-07-27

    應用于半導體行業(yè)的相關同類產品：

    服務熱線

    4001027270

    功能和特性

    價格和優(yōu)惠

    微信公眾號