服務熱線
4001027270
應用:
◆表面粗糙度測量
◆平面度測量
◆共面性測量
規(guī)格:
技術規(guī)格 |
S |
M |
L |
有效視覺角度 |
5×5平方微米 |
33×33平方毫米 |
55×55平方毫米 |
橫向分辨率 |
5微米 |
17微米 |
29微米 |
掃描范圍 |
50毫米 |
50微米 |
100毫米 |
掃描速度 |
100微米/秒 |
90微米/秒 |
90微米/秒 |
工作距離 |
40-90毫米 |
40-80毫米 |
50-100毫米 |
精度(粗糙度) |
50納米 |
50納米 |
80納米 |
精度(平整度) |
30納米 |
30納米 |
50納米 |
精度(階梯差50微米) |
500納米 |
500納米 |
500納米 |
重復性(階梯差50微米) |
100納米 |
100納米 |
100納米 |
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