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    包郵 關(guān)注:584

    12吋晶圓全自動(dòng)減薄磨削機(jī)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備

    產(chǎn)品品牌

    鑫霖

    發(fā)貨期限：

    六個(gè)月天

    庫(kù)       存：

    1

    產(chǎn)       地：

    中國(guó)-廣東省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：鑫霖

    型號(hào)：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備

    12吋晶圓減薄機(jī)配置

    1、永磁同步空氣電主軸；  4.5KW    6000 rpm

    含有；高精度編碼器、同步變頻控制器、空氣壓力開(kāi)關(guān)、三級(jí)精密過(guò)濾器、冷卻水位保護(hù)開(kāi)關(guān)

    2、電主軸參數(shù)

    額定轉(zhuǎn)速  3000 rpm 最高轉(zhuǎn)速 6000 rpm  額定頻率   200Hz 最高頻率 400Hz

     額定電壓：380V； 額定功率：4.5KW； 額定扭矩：14.3Nm ；最高扭矩：25Nm；

    3、粗磨主軸工作轉(zhuǎn)速  1500 rpm；     4、精磨主軸工作轉(zhuǎn)速  3000 rpm

    5、粗、精磨頭滾珠絲桿運(yùn)動(dòng)行程  170mm；6、粗、精磨頭滾珠絲桿精度  0.01/300mm；

    7、粗、精磨頭絲桿工作磨削行程  0.8-0.91mm； 8、主動(dòng)控制測(cè)量?jī)x閉環(huán)控制精度小于 0.001mm；

    9、粗、精磨空氣電主軸上下?lián)Q向運(yùn)動(dòng)加裝柔性阻尼氣缸抵銷絲桿換向沖擊；

    10、金剛石磨輪直徑310mm；       11、晶圓片磨至厚度0.09-0.1mm；

    12、工件表面平面度小于0.005；     13、磨輪調(diào)至平面度不大于0.03；

    14、滾珠絲桿運(yùn)動(dòng)直線度、側(cè)母線直線度不大于0.01/300mm；

    15、大盤真空吸盤平臺(tái)工作轉(zhuǎn)速300 rpm；  16、設(shè)備尺寸范圍  4340x1570X2275；

    17、設(shè)備重量約5000Kg；

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    你好，請(qǐng)問(wèn)這款設(shè)備減薄可達(dá)到的厚度是多少um？破損率可以控制在百分之多少以內(nèi)？

    qwer  2019-11-20

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    服務(wù)熱線

    4001027270

    功能和特性

    價(jià)格和優(yōu)惠

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