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    國產(chǎn)三坐標?

    應用于半導體行業(yè):

    半導體加工設備

    庫       存:

    6

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:

    型號:

    所屬系列:半導體加工設備

     
    FLY系列三坐標測量機是龍門移動式全自動三坐標測量機系列,具有功能強大、性能穩(wěn)定、精度高、操作簡單、維護方便等特點,尤其是其控制系統(tǒng)和軟件功能,具有世界先進水平。相對于其他產(chǎn)品系列比較而言,該系列具有結構簡單、承載能力強、工件放置空間開闊、裝卸便捷等特點。

      1)型號規(guī)格:FLY 1086

    l 測量范圍:X=800mm,Y=1000mm,Z=600mm

    l 示值誤差E(чm)L:mm:2.9+L/250

    l 探測誤差:R≤2.7µm

    l 分辨率:0.5µm

    l 最大移動速度:430mm/s

    l 最大承受重量:1000kg

    l 主機重量1700kg

    l 主機外型尺寸:2082mm×1605mm×2760mm

     

    2)技術要點:
    ※ 龍門移動式結構,整體式工作臺
       具有承載能力強、工件放置空間寬闊、    裝卸便捷的特點;
    ※ 傳動系統(tǒng)的振動隔離設計,
       機器高速運動時也能把機械振動對測量    精度的影響降到最小。
    ※ 三軸采用高性能同步帶傳動,
       可以獲得很高的運動速度以提高測量效率,還可以最大限度的降低傳動慣量以提高運動加速度;

    ※ 新式花崗巖導軌加工檢驗工藝,
       將花崗巖導軌的加工精度提高到一個新的等級。
    ※ 特殊Z軸防轉氣浮,
       為Z軸提供更好的防轉能力,從而減小Z軸在不同    高度位置的旋轉誤差。
    ※ 專用低摩擦重力平衡氣缸
      ※ 先進的非線性彈簧系統(tǒng),
       采用進口配件,更加有效的降低到導軌微小誤差    對機器精度的影響。
    ※ 全數(shù)字氣源檢測裝置,加強對氣源波動檢測靈敏度,將氣源對測量精度的影響降到最低。

     

    3)機器配置:

    序號 配置名稱規(guī)格及說明數(shù)量1主機系統(tǒng)主機及機臺支撐FLY 1086一臺2控制系統(tǒng)Nova控制系統(tǒng)控制柜一個操控手柄一個3測量軟件系統(tǒng)Visual DMIS CNC測量軟件Visual DMIS CNC CAD+測量軟件光盤一張(適用于Windows 操作系統(tǒng))一張軟件鎖Visual DMIS CNC CAD+測量軟件鎖一個測量軟件操作手冊Visual DMIS CNC CAD+測量軟件操作手冊一本4計算機系統(tǒng)主機3.0GHz英特爾雙核處理器,內存2 GB,硬盤500 GB, DVD-ROM光驅,NVIDIA獨立顯卡1G,19吋寬屏液晶顯示屏(不低于此配置)一臺操作系統(tǒng)64位Windows 7中文版操作系統(tǒng)一套打印機HP噴墨打印機一臺桌椅計算機專用桌椅一套5測頭及測針系統(tǒng)測頭座一個標準測力模塊一個測針組英國RENISHAW第3測針組件一套校準球Ф20一個萬向球座 一個

     

     



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