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    日本Certas WING 化學氣體干法刻蝕機

    應用于半導體行業(yè):

    半導體加工設備-刻蝕設備-其它刻蝕設備

    產品品牌

    日本Certas

    庫       存:

    1

    產       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:日本Certas

    型號:

    所屬系列:半導體加工設備-刻蝕設備-其它刻蝕設備

     
    日本Certas WING 化學氣體干法刻蝕機

    Certas Wing化學氣體干法刻蝕機
    詳細介紹

    “Certas WING”設計用于加工300mm晶圓,是Certas的第二代系統(tǒng)。這是一種環(huán)保,高產量的氣體化學蝕刻系統(tǒng),可以在不使用清洗液的情況下進行表面蝕刻和清洗。與濕式清潔相比,已經完全干燥的處理單元不使用化學品,不需要昂貴的廢物處理設備,并且具有改進的可維護性。它消除了水印,并提供了各種氧化膜蝕刻的獨特選擇比例,細微的界面清潔控制,與TEL清潔系統(tǒng)一起使用時具有更高的靈活性。它支持從批量生產到下一代開發(fā)的廣泛應用。

    特征

    獨特的氧化膜選擇性蝕刻和氣體化學品預處理

    新的腔室設計實現(xiàn)了高吞吐量(大約兩倍)和小占用空間

    無等離子處理可實現(xiàn)耗材的高正常運行時間和低成本

    應用

    氧化硅膜的蝕刻和回蝕

    硅觸點預清洗

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