網(wǎng)站首頁

中|EN

當(dāng)前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體加工設(shè)備 » 刻蝕設(shè)備 » 其它刻蝕設(shè)備 »日本Certas WING 化學(xué)氣體干法刻蝕機(jī)
    •
    包郵 關(guān)注:846

    日本Certas WING 化學(xué)氣體干法刻蝕機(jī)

    產(chǎn)品品牌

    日本Certas

    庫       存：

    1

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：日本Certas

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-刻蝕設(shè)備-其它刻蝕設(shè)備

     
    日本Certas WING 化學(xué)氣體干法刻蝕機(jī)

    Certas Wing化學(xué)氣體干法刻蝕機(jī)
    詳細(xì)介紹

    “Certas WING”設(shè)計(jì)用于加工300mm晶圓，是Certas的第二代系統(tǒng)。這是一種環(huán)保，高產(chǎn)量的氣體化學(xué)蝕刻系統(tǒng)，可以在不使用清洗液的情況下進(jìn)行表面蝕刻和清洗。與濕式清潔相比，已經(jīng)完全干燥的處理單元不使用化學(xué)品，不需要昂貴的廢物處理設(shè)備，并且具有改進(jìn)的可維護(hù)性。它消除了水印，并提供了各種氧化膜蝕刻的獨(dú)特選擇比例，細(xì)微的界面清潔控制，與TEL清潔系統(tǒng)一起使用時(shí)具有更高的靈活性。它支持從批量生產(chǎn)到下一代開發(fā)的廣泛應(yīng)用。

    特征

    獨(dú)特的氧化膜選擇性蝕刻和氣體化學(xué)品預(yù)處理

    新的腔室設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了高吞吐量（大約兩倍）和小占用空間

    無等離子處理可實(shí)現(xiàn)耗材的高正常運(yùn)行時(shí)間和低成本

    應(yīng)用

    氧化硅膜的蝕刻和回蝕

    硅觸點(diǎn)預(yù)清洗

    咨詢

    購買之前，如有問題，請向我們咨詢

    提問:
     

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品：

    服務(wù)熱線

    4001027270

    功能和特性

    價(jià)格和優(yōu)惠

    微信公眾號