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    多片自動(dòng)Wafer清洗機(jī)

    庫(kù)       存:

    1000

    產(chǎn)       地:

    全國(guó)

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付
     全自動(dòng)倒片功能,兼容SMIF和FOUP。
    • 兼容8寸,12寸Wafer清洗。
    • 自動(dòng)配液系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)不同濃度精確配比。
    • 支持Marangoni干燥。
    • 支持多任務(wù)并行處理。
    • 模塊化設(shè)計(jì)。
    • 結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小。
    • 維護(hù)成本低。
    • 滿足SEMI S2、SEMI S8和CE標(biāo)準(zhǔn)。
    • 針對(duì)易燃易爆化學(xué)品配置二氧化碳滅火系統(tǒng)。
    • 潔凈等級(jí)符合 ISO Class 1標(biāo)準(zhǔn)

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