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：產(chǎn)品描述：：

美國(guó)ALICAT 11系列基本型質(zhì)量流量控制器，美國(guó)ALICAT 11系列標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差專利技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制
器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。Alicat的11系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測(cè)量并控制過程氣體的質(zhì)量流量。采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的PID調(diào)校，可達(dá)到優(yōu)于100ms的控制速度，并保持極佳穩(wěn)定性。

產(chǎn)品特點(diǎn) ：

● 低價(jià)位產(chǎn)品
● 標(biāo)配模擬控制方式，數(shù)字可選
● 高量程比 200:1
● 響應(yīng)時(shí)間快僅需100ms(可調(diào))

技術(shù)參數(shù) ：

介質(zhì)要求：非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類：?jiǎn)畏N氣體標(biāo)定，請(qǐng)參考背面氣體兼容表

量程：從0-10SCCM 到 0-20SLPM（詳情請(qǐng)咨詢）

量程比：200:1

最大顯示流量：102.4%FS

精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-滿量程

重復(fù)性：± 0.2% FS

零點(diǎn)漂移&滿量程漂移：0.02% FS / ºC / Atm

預(yù)熱時(shí)間：<1s

響應(yīng)時(shí)間：100ms(可調(diào))

標(biāo)定工況：25ºC & 100kPa 絕壓

工作溫度：-10 ～ +50 ºC

工作濕度：0-100%,無冷凝

標(biāo)準(zhǔn)最大工作壓力：1MPa 表壓

標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓：1.2MPa 表壓

中壓選項(xiàng)：2MPa

模擬輸入/輸出信號(hào)：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA

數(shù)字輸入/輸出信號(hào)：可選RS-232

供電電壓：7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)

供電電流：250mA

電氣接口：DB15

材質(zhì)：302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強(qiáng)尼龍、鋁、

黃銅、 430FR 不銹鋼、硅、玻璃

安裝方式：對(duì)位置無要求防護(hù)等級(jí)：IP40

應(yīng)用及案例 ：

● 大學(xué)/研究所
● 環(huán)境監(jiān)測(cè)
● 真空鍍膜
● 工業(yè)爐窯
● 半導(dǎo)體
● 汽車制造
● 光伏
● 燃料電池
● 計(jì)量
● 過程工藝氣體測(cè)量

ALICAT基本型氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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