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概要

C30經(jīng)濟(jì)型氣體質(zhì)量流量控制器和C30M型氣體質(zhì)量流量計(jì)采用毛細(xì)鋼管傳熱和溫差量熱原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，其中質(zhì)量流量控制器可以對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精確的控制。由于溫差量熱只和氣體的質(zhì)量流量相關(guān)，所以氣體的溫度和壓力變化不會(huì)影響到測(cè)量值。

本型號(hào)產(chǎn)品的滿量程可以在 5SCCM到 10SLM的范圍內(nèi)任意定制，性價(jià)比高，是同類產(chǎn)品中價(jià)格最低的一款。

特點(diǎn)

國(guó)內(nèi)同類產(chǎn)品價(jià)格最低

穩(wěn)定性和可靠性高

±0.2％F.S.的高重復(fù)精度

滿量程可以在 5SCCM到 10SLM的范圍內(nèi)任意定制

可應(yīng)用于大多數(shù)腐蝕性氣體

同類產(chǎn)品尺寸最小

安裝尺寸國(guó)際兼容

應(yīng)用

真空鍍膜設(shè)備

微反應(yīng)裝置

晶體制備設(shè)備

混氣配氣設(shè)備

燃燒測(cè)試設(shè)備

氣相色譜儀及其它分析儀器

標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)定氣體：氮?dú)?N2)

標(biāo)定溫度和壓力：溫度—273.15 K（0℃）

氣壓—101325 Pa（760mm Hg）

輸入輸出信號(hào)

0～+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA)

流量規(guī)格(N2標(biāo)定)

0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

0～1,2,3,5,10,20,10SLM

注：滿量程流量不限于此處列出的流量規(guī)格，可以在5SCCM～10SLM范圍內(nèi)任選，例如123SCCM。

流量規(guī)格(N2標(biāo)定)	0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
流量規(guī)格(N2標(biāo)定)	0～1,2,3,5,10 SLM
準(zhǔn)確度	±1.5％F.S.
調(diào)節(jié)閥類型	常閉式
線性	±1.5％F.S.
重復(fù)精度	±0.2％F.S.
響應(yīng)時(shí)間	≤3sec
輸入輸出信號(hào)	0～+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA)
電纜接頭	DB15pin(針形)
工作環(huán)境溫度	5～45℃
工作壓差范圍	0.1～0.5MPa (≤10SLM)
對(duì)外單點(diǎn)泄漏率	≤1×10-8Pa·m3/S(He)
最大耐壓	3MPa
介質(zhì)接觸材質(zhì)	316，316L，密封填料
介質(zhì)接觸材質(zhì)	氟橡膠，硅橡膠，丁晴橡膠，聚四氟乙烯，金屬密封型
密封材料	丁腈橡膠NBR，三元乙丙橡膠EPDM，氯丁橡膠CR，硅橡膠VMQ, 氟橡膠FKM，全氟橡膠FFKM，聚四氟乙烯PTFE
密封材料	丁腈橡膠NBR，三元乙丙橡膠EPDM，氯丁橡膠CR，硅橡膠VMQ,氟橡膠FKM
管道接頭尺寸	VCR型接頭：1/4”
管道接頭尺寸	雙卡套型接頭：3/8”、 1/2” 或φ8、φ10、φ12 mm
管道接頭尺寸	雙卡套型接頭：1/8”、1/4”、3/8”或φ3、φ6、φ8、φ10 mm
供電電源要求	+15VDC(50mA),-15VDC(200mA)
工作環(huán)境濕度	＜80RH

C30熱式氣體質(zhì)量流量控制器

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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