勻膠機(jī) SM-150 是手動(dòng)或半自動(dòng)薄膜涂覆的最佳選擇,適用于表面沒(méi)有或有非常矮
形貌的基板涂膠作業(yè)。所有市面上的光刻膠與涂層材料都可被均勻涂覆到尺寸最大
為 150mm (6”)的晶圓或尺寸為 127x127mm (5”x5”)的基板上。工藝腔設(shè)計(jì)可滿(mǎn)足最大
直徑為 176mm。
SM 系列的優(yōu)點(diǎn)在于,具有令人信服的高度涂膜均勻性和工藝重復(fù)性,并且操作簡(jiǎn)
單、使用舒適。為了使花費(fèi)在工藝腔清潔上的精力最小化,SAWATEC 公司開(kāi)發(fā)了一
種極其實(shí)用且經(jīng)濟(jì)的工藝腔保護(hù)碗。工藝結(jié)束后,可以簡(jiǎn)單地移除和清理這種保護(hù)
碗。經(jīng)由如此的高品質(zhì)設(shè)計(jì),也可以將維護(hù)成本最小化。因此,SAWATEC勻膠機(jī)可被
優(yōu)先應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室,研發(fā),試產(chǎn)項(xiàng)目以及研究所。
該勻膠機(jī)可提供便攜桌上式和內(nèi)嵌式兩種方式