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4001027270
概要
這是一臺帶有扁平環(huán)(供應(yīng)側(cè)),托盤(存儲側(cè))裝載機(jī)和卸載機(jī)的全自動機(jī)器。
對于每個芯片,執(zhí)行NG標(biāo)記辨別,角落抖動檢測和位置校正值檢測。
在更換環(huán)時,在附屬的成像裝置上執(zhí)行晶片粘貼機(jī)處的角度偏差檢測(θ校正值)。
特點(diǎn)
采用最新型線性傳送拾取臂的高速(0.5秒/ 1片)自動機(jī)器FD分類是可能的
通過切割之后半導(dǎo)體元件(芯片)的NG標(biāo)記的存在/不存在以及前一過程中探測機(jī)的數(shù)據(jù)(FD)分離到托盤中
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