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    包郵 關(guān)注:505

    實驗室小型分支泵機組 移動式分支泵組 觸摸屏控制 CVD分子泵鍍膜

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體輔助設(shè)備-真空泵-分子泵

    庫       存:

    99

    產(chǎn)       地:

    全國

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    所屬系列:半導(dǎo)體輔助設(shè)備-真空泵-分子泵

        

    實驗室小型分支泵機組 移動式分支泵組 觸摸屏控制 CVD分子泵鍍膜


       高真空觸摸屏控制的國產(chǎn)分子泵真空系統(tǒng),通過觸摸屏顯示真空度及各項工作狀態(tài),控制分為一鍵式操作和手動控制,方便快捷。它主要由真空室,閥門及真空連接管道,F-100/110分子泵,VRD-4機械泵,真空測量系統(tǒng),電控制系統(tǒng)構(gòu)成。通過標(biāo)準(zhǔn)配件連接,全部采用不銹鋼材料

    KT-F110Z高真空觸摸屏控制的國產(chǎn)分子泵真空系統(tǒng),通過觸摸屏顯示真空度及各項工作狀態(tài),控制分為一鍵式操作和手動控制,方便快捷此設(shè)備是根據(jù)真空知識原理,利用機械泵、渦輪分子泵組合成的真空獲得系統(tǒng),具有啟動時間快、真空度高、操作方便等特點。廣泛應(yīng)用于表面分析、加速器技術(shù)、等離子體技術(shù)、電真空器件制造及真空的各個領(lǐng)域。設(shè)備的具體組成主要包括真空測量系統(tǒng)、真空室、閥門及真空管路、電器控制系統(tǒng)等

    7F110真空機組1_說明書8F110真空機組39F110真空機組2_說明書

    技術(shù)參數(shù):

     

    控制方式

    觸摸屏自動控制

    前級泵

    雙極4旋片真空泵

    前級泵抽氣速率

    4L/S

    前級泵極限壓強

    ≤1Pa

    分子泵

    F-100/110  4300轉(zhuǎn)/分

    分子泵抽氣速率

    100L/S

    分子泵啟動時間

    ≤3min

    空載極限壓強

    ≤1X10-4Pa

    真空測量范圍

    電阻單元1E﹢5到1E-1 Pa

    電離單元    5到5E-5Pa

    報警功能

    有 真空壓力上升自動關(guān)閉分子泵增加使用壽命

    抽氣接口

    KF25

    系統(tǒng)電源

    AC220V

    系統(tǒng)功率

    1KW

    環(huán)境溫度

    5~32

    冷卻方式

    強制風(fēng)冷卻

    濕度

    ≤80%

    噪音

    <60分貝

    外形尺寸

    430 X500 X 650mm    寬X深X高

    重量

    65KG

    隨機配件:KF25高真空擋板閥X1個   KF25卡箍X3個   kf25-1.5米不銹鋼波紋管x1根   說明書X1本  電源線x1根  油污過濾器X1個(已安裝)




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