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    用于石英管高真空封口獲取更高的真空度可到10-4pa真空分子泵機組

    應用于半導體行業(yè):

    半導體輔助設備-真空泵-分子泵

    產品品牌

    科探儀器設備

    庫       存:

    666

    產       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:科探儀器設備

    型號:

    所屬系列:半導體輔助設備-真空泵-分子泵

       

    用于石英管高真空封口獲取更高的真空度可到10-4pa真空分子泵機組


     
         KT-F110S 標準復合分子泵機組是一臺清潔的高真空獲得設備。此設備是根據(jù)真空知識原理,利用機械泵、渦輪分子泵組合成的真空獲得系統(tǒng),具有啟動時間快、真空度高、操作方便等特點。廣泛應用于表面分析、加速器技術、等離子體技術、電真空器件制造及真空的各個領域。設備的具體組成主要包括真空測量系統(tǒng)、真空室、閥門及真空管路、電器控制系統(tǒng)等

    7F110真空機組1_說明書8F110真空機組39F110真空機組2_說明書

    技術參數(shù):

     

    控制方式

    手動控制

    前級泵

    雙極4旋片真空泵

    前級泵抽氣速率

    4L/S

    前級泵極限壓強

    ≤1Pa

    分子泵

    F-100/110  4300轉/分

    分子泵抽氣速率

    100L/S

    分子泵啟動時間

    ≤3min

    空載極限壓強

    ≤1X10-4Pa

    真空測量范圍

    電阻單元1E﹢5到1E-1 Pa

    電離單元    5到5E-5Pa

    抽氣接口

    KF25

    系統(tǒng)電源

    AC220V

    系統(tǒng)功率

    1KW

    環(huán)境溫度

    5~32

    冷卻方式

    強制風冷卻

    濕度

    ≤80%

    噪音

    <60分貝

    外形尺寸

    430 X500 X 650mm

    重量

    65KG

    隨機配件:KF25高真空擋板閥X1個   KF25卡箍X3個   kf25-1.5米不銹鋼波紋管x1根   說明書X1本  電源線x1根  油污過濾器X1個(已安裝)



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