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半導(dǎo)體單晶硅棒滾磨一體機(jī) RGM8C1000-ZJS
半導(dǎo)體單晶硅棒滾磨一體機(jī)
單晶硅棒滾磨一體機(jī)是國內(nèi)首創(chuàng)的一種用于半導(dǎo)體級單晶硅棒的外圓滾磨及定位邊(V槽)磨削一體加工的設(shè)備。該設(shè)備集成了原來需要兩臺不同加工(檢測)設(shè)備完成的單晶硅棒外圓滾磨和定位邊(V槽)磨削等二道加工工序。加工單晶硅棒范圍從2英寸至8英寸皆可滿足,具備檢測110、100、111三個(gè)面晶向的能力。經(jīng)過該設(shè)備加工后的單晶硅棒主要用于半導(dǎo)體集成電路芯片等相關(guān)領(lǐng)域。該設(shè)備可滿足現(xiàn)代車間的智能化、集成化、自動(dòng)化的流水線生產(chǎn)的需求。
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單晶硅棒滾磨一體機(jī)磨削精度能到達(dá)多少?