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EDP150-ZJS全自動(dòng)晶體滾磨一體機(jī)
全自動(dòng)晶體滾磨機(jī)是國(guó)內(nèi)首創(chuàng)的一種全自動(dòng)2-6英寸晶棒磨外圓、定向、磨平邊復(fù)合加工的一體化設(shè)備,該設(shè)備集成了原來(lái)需要三臺(tái)不同加工功能設(shè)備完成的晶棒磨外圓、定向、磨平邊等三道加工工序, 該設(shè)備可兼容多種半導(dǎo)體晶棒的加工,如:藍(lán)寶石、單晶硅、碳化硅等。設(shè)備技術(shù)具有國(guó)際先進(jìn)水平。
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