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    包郵 關(guān)注:509

    ZLH706激光劃片機(jī)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-劃片設(shè)備-激光劃片機(jī)

    庫(kù)       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    全國(guó)

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付
    ZLH706激光劃片機(jī)

          ZLH706激光劃片機(jī)選用工業(yè)激光器，直線電機(jī)工作臺(tái)以及直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，輔以CCD影像監(jiān)視定位，對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行切割。ZLH激光劃片機(jī)采用了交互式人機(jī)操作界面，15寸高精度觸摸屏幕，操作便捷，大大提高工作效率。ZLH706激光劃片機(jī)主要應(yīng)用領(lǐng)域：集成電路晶圓、GPP二極管晶圓的切割何切片，太陽(yáng)能行業(yè)單晶硅、多晶硅、非晶硅的切割和劃片，GPP可控硅的切線切割以及LOW-K材料的開槽切割等方面。

    ZLH706激光劃片機(jī)技術(shù)指標(biāo)

    最大加工尺寸

    		 ?

    Φ6英寸

    最大切割深度

    		 ?

    Max0.120mm
    激光器功率 ? 20W
    切割速度 ? 輸入范圍：1-150mm/s

    X軸

    驅(qū)動(dòng)方式

    直線電機(jī)

    工作行程

    Max160mm
    分辨率 0.001mm
    單步步進(jìn)量 0.001mm
    定位精度 0.006mm以內(nèi)/150mm

    重復(fù)定位精度

    0.002mm

    Y軸

     

    驅(qū)動(dòng)方式

    直線電機(jī)

    工作行程

    Max160mm
    分辨率 0.001mm
    單步步進(jìn)量 0.001mm
    定位精度 0.006mm以內(nèi)/150mm

    重復(fù)定位精度

    0.002mm

    θ軸

    驅(qū)動(dòng)方式

    DD馬達(dá)

    最大旋轉(zhuǎn)角度

    360°

    旋轉(zhuǎn)速度

    120rpm
    分辨率 0.0005deg

    基礎(chǔ)系統(tǒng)

    操作系統(tǒng)

    Windows

    操作界面

    中文

    顯微鏡光源

    LED

    工作條件

    電源

    AC兩相220-240V  50HZ

    最大耗電量

    1.5Kw

    壓縮空氣供給壓力

    0.4～0.8MPa

    排風(fēng)量（工廠自備）

    5m³/min
    ?

    設(shè)備尺寸（W*D*H）

    1220mm×810mm×1650mm
    ?

    設(shè)備重量

    660KG

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    服務(wù)熱線

    4001027270

    功能和特性

    價(jià)格和優(yōu)惠

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